LPCVD,lpcvd和pecvd的區(qū)別
什么是CVD技術(shù)？與鏈?zhǔn)狡桨錚ECVD技術(shù)相比，管式PECVD具有設(shè)備成本低、維護(hù)維修簡(jiǎn)便等優(yōu)點(diǎn)，可以降低太陽能電池的制備成本。CVD技術(shù)是指化學(xué)氣相沉積技術(shù)，利用批量管式等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)沉積氮化硅薄膜作為減反射層和鈍化層，已經(jīng)成為大規(guī)模生產(chǎn)制造晶體硅太陽能電池的標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)，目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)用。1、單晶硅電池片鍍膜是干什么的?采用批量管式等離子體化學(xué)氣相沉積(PECVD)系統(tǒng)沉積的氮化硅薄膜作為減反射層和鈍化層，已經(jīng)成為大規(guī)模生產(chǎn)制造晶體硅太陽能電池的標(biāo)準(zhǔn)工藝技術(shù)，目前已經(jīng)得到廣泛應(yīng)...
更新時(shí)間：2023-10-26標(biāo)簽： LPCVDlpcvdpecvdLPCVD 全文閱讀