icp刻蝕，感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機工作原理是什么
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機工作原理是什么2，LEDPSS什么意思3，求助ICP原理4，什么是icpaes5，如何使氧氣放電6，專業(yè)技術(shù)詞匯解釋呢1，感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機工作原理是什么利用ICP產(chǎn)生高密度等離子體，等離子體中的活性基團(tuán)或者離子與所需刻蝕的材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并去除；一般在刻蝕的過程中同時也伴隨著物理轟擊，并把相應(yīng)的鍵能打開，從而加速反應(yīng)的進(jìn)程。2，LEDPSS什么意思PSS(PatternedSapphireSubstrate)，俗稱圖形化襯底，也就是在藍(lán)寶石襯底上生長干法刻蝕用掩膜，用標(biāo)準(zhǔn)...
更新時間：2023-08-25標(biāo)簽： icp刻蝕感應(yīng)耦合icp刻蝕 全文閱讀