mems芯片，MEMS傳感器的介紹
MEMS傳感器的介紹2，什么是mems3，常見MEMS加速度傳感器芯片有哪些4，傾角傳感器MEMS的選擇5，國內(nèi)專注于MEMS和芯片制造的企業(yè)有哪些6，請教MEMS氣體流量傳感器的原理1，MEMS傳感器的介紹MEMS即微機電系統(tǒng)（MicroelectroMechanicalSystems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年...
更新時間：2023-08-27標簽： mems芯片MEMS傳感器的介紹 全文閱讀