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mems芯片，MEMS傳感器的介紹

來源：整理 時(shí)間：2023-08-27 09:46:13 編輯：智能門戶 手機(jī)版

本文目錄一覽

1，MEMS傳感器的介紹

MEMS即微機(jī)電系統(tǒng)（Microelectro Mechanical Systems），是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過四十多年的發(fā)展，已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理學(xué)、化學(xué)、生物學(xué)、醫(yī)學(xué)等多種學(xué)科與技術(shù)，具有廣闊的應(yīng)用前景。截止到2010年，全世界有大約600余家單位從事MEMS的研制和生產(chǎn)工作，已研制出包括微型壓力傳感器、加速度傳感器、微噴墨打印頭、數(shù)字微鏡顯示器在內(nèi)的幾百種產(chǎn)品，其中MEMS傳感器占相當(dāng)大的比例。MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比，它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。同時(shí)，在微米量級的特征尺寸使得它可以完成某些傳統(tǒng)機(jī)械傳感器所不能實(shí)現(xiàn)的功能。

MEMS傳感器的介紹

2，什么是mems

Micro-Electro-Mechanical Systems，微機(jī)電系統(tǒng)?，F(xiàn)在手機(jī)的重力感應(yīng)傳感器，航模的角速度傳感器都是這類傳感器。
MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)（Micro-Electro-Mechanical Systems）的英文縮寫。MEMS是美國的叫法，在日本被稱為微機(jī)械，在歐洲被稱為微系統(tǒng)，它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導(dǎo)體集成電路微細(xì)加工技術(shù)和超精密機(jī)械加工技術(shù)的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術(shù)還被廣泛應(yīng)用于微流控芯片與合成生物學(xué)等領(lǐng)域，從而進(jìn)行生物化學(xué)等實(shí)驗(yàn)室技術(shù)流程的芯片集成化。
mems(微電子機(jī)械系統(tǒng)或稱微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)?？疵謶?yīng)該能知道是做什么的了吧。具體內(nèi)容十分豐富且復(fù)雜，說不清楚

什么是mems

3，常見MEMS加速度傳感器芯片有哪些

MMA7260，飛思卡爾的，靈敏度6g(200mV/g)、4g(300mV/g)、2g(600mV/g)、1.5g(800mV/g)可調(diào)，最常用的3軸加速度計(jì)。噪音很恐怖，慎用。20RMB一顆左右ADXL335，AD的，靈敏度3g(300mV/g)，但噪音很小，12位采樣的話噪音也就正負(fù)1LSB。也是20RMB左右一顆以上兩個(gè)加速度計(jì)我都用過。個(gè)人認(rèn)為最好能選用噪音小的，靈敏度小可以放大，噪音大可就不好處理了。當(dāng)然也可以RC低通濾波，但噪音是全頻率白噪聲，RC濾波低通頻率太低的話的話會(huì)降低響應(yīng)速度。另外還有MMA7455、ADXL345，差不多可以說是以上兩個(gè)的I2C、SPI數(shù)字輸出版本，沒有用過；還有ADXL203，噪音非常小靈敏度很高，但是是雙軸的，90+RMB一顆。需要以上幾個(gè)芯片的DATASHEET的話，用英文版google搜型號一般第一個(gè)帶[PDF]字樣的搜索結(jié)果就是相應(yīng)DATASHEET。

常見MEMS加速度傳感器芯片有哪些

4，傾角傳感器MEMS的選擇

傾角傳感器就是使用了加速度計(jì)受重力影響產(chǎn)生的DC信號來計(jì)算傳感器與地表面或者重力方向的夾角。簡單的方法是使用加速度計(jì)做（MEMSIS D2020E，PWM接口）；沒有成本壓力的話直接買VTI（SCA3100 SPI接口）或者ADI（SPI、 I2C都有）的傾角計(jì)。慣性傳感器一般是一個(gè)統(tǒng)稱，加速度計(jì)和陀螺儀都是
VTI傾角傳感器提供模擬和數(shù)字輸出的MEMS芯片的傾角傳感器可供選擇。VTI的傾角傳感器對于振動(dòng)不靈敏，因?yàn)樗麄兌荚趥鞲性?nèi)部增加了阻尼，并且能承受高達(dá)20，000g的機(jī)械沖擊力。VTI的傾角傳感器穩(wěn)定性好，精度高。適用于重型機(jī)械的應(yīng)用中。銘之光提供傾角傳感器在工程機(jī)械上的應(yīng)用方案。
memsmicro-electro-mechanical systemmems傳感器可以理解為采用微加工工藝制作的傳感器微加工工藝的定義請另行搜索

5，國內(nèi)專注于MEMS和芯片制造的企業(yè)有哪些

西人馬科技有限公司是一家高新技術(shù)企業(yè)，公司科研人員碩博士占比超過80%。公司聚焦于MEMS與高端傳感器芯片的研發(fā)、生產(chǎn)、檢測、銷售。其MEMS高端傳感器芯片研究與加工基地占地70畝，具有6000平方米的超凈車間和先進(jìn)微納米研究實(shí)驗(yàn)室。公司依據(jù)AS9100D和ISO13485質(zhì)量體系為全球客戶提供各類MEMS芯片、傳感器。公司擁有先進(jìn)的儀器設(shè)備，包含PECVD等離子體淀積系統(tǒng)、電子蒸鍍機(jī)、電感耦合等離子體ICP干法刻蝕系統(tǒng)等先進(jìn)生產(chǎn)和檢測設(shè)備。在MEMS傳感器關(guān)鍵技術(shù)和生產(chǎn)工藝領(lǐng)域具有很強(qiáng)的競爭力，并利用MEMS芯片技術(shù)，納米、功能陶瓷等新材料，現(xiàn)代信號處理，云計(jì)算，以及人工智能等綜合技術(shù)，主攻通用神經(jīng)操作系統(tǒng)、機(jī)器神經(jīng)故障診斷系統(tǒng)、智能健康醫(yī)療器械等技術(shù)的研究。目前西人馬所研制的傳感器及系統(tǒng)可用于故障診斷、控制、激光雷達(dá)、生物芯片等系統(tǒng)的解決方案，并廣泛應(yīng)用于包括能源、航空、軌道交通、精密儀器、工業(yè)自動(dòng)化、物聯(lián)網(wǎng)等多個(gè)領(lǐng)域。

6，請教MEMS氣體流量傳感器的原理

MEMS是熱敏式的流量傳感器，其工作原理如下：
產(chǎn)品原理MEMS氣體質(zhì)量流量計(jì)采用具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當(dāng)沒有氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí)，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）,當(dāng)氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時(shí)，溫度場因?yàn)榱黧w介質(zhì)帶走熱量導(dǎo)致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進(jìn)行測量，通過校準(zhǔn)，專門設(shè)計(jì)的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實(shí)際的介質(zhì)質(zhì)量流量.
“十五”期間，中科院組織全院近20家研究所開展聯(lián)合攻關(guān)。在重要傳感器件方面，自主開發(fā)了mems(微機(jī)電系統(tǒng))振動(dòng)傳感器、mems聲響傳感器、mems紅外傳感器、光纖傳感器、聲陣列傳感器，形成了以mems傳感器為主、復(fù)合多信息探測的小型化傳感器系列。在系統(tǒng)層面，研制出了5個(gè)系列9種傳感網(wǎng)端機(jī)、4個(gè)系列基站等原型樣機(jī)，在低功耗、微型化等方面研究取得突破。在專用網(wǎng)絡(luò)研究方面取得重大突破，利用研制的傳感網(wǎng)設(shè)備可組成多種類型的傳感網(wǎng)絡(luò)，并成功實(shí)現(xiàn)了各種無線傳感網(wǎng)絡(luò)與公共網(wǎng)絡(luò)、衛(wèi)星網(wǎng)絡(luò)的加密互聯(lián)。同時(shí)，研制完成了無線傳感網(wǎng)核心協(xié)議芯片。 另外，基于mems技術(shù)的生物微傳感技術(shù)和生物芯片技術(shù)在生命科學(xué)研究、生物醫(yī)學(xué)工程、醫(yī)療保健、食品加工、環(huán)境檢測等領(lǐng)域有廣闊的應(yīng)用前景。
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