簡述光刻的工藝過程步驟2,什么是光刻技術3,打印機的光刻工藝是什么意思4,光刻工藝的原理是什么5,光刻曝光技術的主要流程及每個步驟的意義6,光刻技術的原理是什么1,簡述光刻的工藝過程步驟1.wafer表面處理;2.旋涂光刻膠(包括抗反射層)3.前烘;4.曝光;5.后烘;6.顯影,有的需要在顯影前進行堅膜;7.刻蝕2,什么是光刻技術http://www.cnieee.com/wdj/gk/200903/4107.html光刻技術:集成電路制造中利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將電路圖形傳遞到...
更新時間:2023-08-29標簽: 光刻工藝簡述工藝過程光刻工藝 全文閱讀