强奸久久久久久久|草草浮力在线影院|手机成人无码av|亚洲精品狼友视频|国产国模精品一区|久久成人中文字幕|超碰在线视屏免费|玖玖欧洲一区二区|欧美精品无码一区|日韩无遮一区二区

首頁 > 產品 > 問答 > PECVD，PECVD的中文名稱是什么

PECVD，PECVD的中文名稱是什么

來源：整理 時間：2024-10-08 09:05:45 編輯：智能門戶 手機版

本文目錄一覽

1，PECVD的中文名稱是什么

變成PECVD裝置te幾
等離子體增強化學氣相沉積法

PECVD的中文名稱是什么

2，PECVD是什么

PECVD就是化學氣相沉積法，是一種化工技術，該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法?；瘜W氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術?；瘜W氣相淀積法已經廣泛用于提純物質、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制?；瘜W氣相淀積已成為無機合成化學的一個新領域，PCEVD是等離子體增強化學氣相沉積英文的各個詞字母的首個字母。

PECVD是什么

3，PECVD反應時什么情況下需要延長時間延長時間由什么因素決定

膜?。珪r間。但是膜薄顏色也不同
pecvd 載片盤鋁材質的，反應時是不會旋轉的。旋轉的那是mocvd的托盤，一般為石墨的。

PECVD反應時什么情況下需要延長時間延長時間由什么因素決定

4，縮略語PECVDLPCVDHDPCVD和APCVD的中文名稱分別是和

【答案】：等離子體增強化學氣相淀積，低壓化學氣相淀積，高密度等離子體化學氣相淀積，常壓化學氣相淀積解析：PECVD(plasma enhanced chemical vapor deposition) ，即等離子體增強化學氣相淀積 。LPCVD(low pressure chemical vapor deposition)，即低壓化學氣相淀積。HDPCVD（high-density plasma chemical vapor deposition），即高密度等離子體化學氣相淀積。APCVD（atmospheric pressure CVD），即常壓化學氣相淀積。

5，PECVD等離子化學氣象沉積原理是什么

pecvd等離子體增強化學氣相沉積技術原理是利用低溫等離子體作能量源，樣品置于低氣壓下輝光放電的陰極上，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的反應氣體，氣體經一系列化學反應和等離子體反應，在樣品表面形成固態(tài)薄膜。

6，PECVD工作原理是什么

PECVD--等離子體化學氣相沉積法　　為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).　　實驗機理：　　輝光放電等離子體中：電子密度高(109~1012/cm3)　　電子氣溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍　　雖環(huán)境溫度(100-300℃)，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大提高了參與反應物的活性?！　∫虼?，這些具有高反應活性的中性物質很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜。　　優(yōu)點：基本溫度低；沉積速率快；成膜質量好，針孔少，不易龜裂?！　∪秉c：1.設備投資大、成本高，對氣體的純度要求高；　　2.涂層過程中產生的劇烈噪音、強光輻射、有害氣體、金屬蒸汽粉塵等對人體有害；　　3.對小孔孔徑內表面難以涂層等。

7，解釋下pecvd

PECVD方法區(qū)別于其它CVD方法的特點在于等離子體中含有大量高能量的電子，它們可以提供化學氣相沉積過程所需的激活能。電子與氣相分子的碰撞可以促進氣體分子的分解、化合、激發(fā)和電離過程，生成活性很高的各種化學基團，因而顯著降低CVD薄膜沉積的溫度范圍，使得原來需要在高溫下才能進行的CVD過程得以在低溫實現(xiàn)。由于PECVD方法的主要應用領域是一些絕緣介質薄膜的低溫沉積，因而PECVD技術中等離子體的產生也多借助于射頻的方法。本實驗室使用射頻等離子體增強化學氣相沉積（RF-PECVD），射頻電源采用電容耦合方式，射頻頻率為27.12MHz。

8，PECVD工作原理是什么

1PECVD工藝的基本原理PECVD技術是在低氣壓下，利用低溫等離子體在工藝腔體的陰極上（即樣品放置的托盤）產生輝光放電，利用輝光放電（或另加發(fā)熱體）使樣品升溫到預定的溫度，然后通入適量的工藝氣體，這些氣體經一系列化學反應和等離子體反應，最終在樣品表面形成固態(tài)薄膜。其工藝原理示意圖如圖1所示。在反應過程中，反應氣體從進氣口進入爐腔，逐漸擴散至樣品表面，在射頻源激發(fā)的電場作用下，反應氣體分解成電子、離子和活性基團等。這些分解物發(fā)生化學反應，生成形成膜的初始成分和副反應物，這些生成物以化學鍵的形式吸附到樣品表面，生成固態(tài)膜的晶核，晶核逐漸生長成島狀物，島狀物繼續(xù)生長成連續(xù)的薄膜。在薄膜生長過程中，各種副產物從膜的表面逐漸脫離，在真空泵的作用下從出口排出。2.2PECVD設備的基本結構PECVD設備主要由真空和壓力控制系統(tǒng)、淀積系統(tǒng)、氣體及流量控制、系統(tǒng)安全保護系統(tǒng)、計算機控制等部分組成。其設備結構框圖如圖2所示。2.2.1真空和壓力控制系統(tǒng)真空和壓力控制系統(tǒng)包括機械泵、分子泵、粗抽閥、前級閥、閘板閥、真空計等。為了減少氮氣、氧氣以及水蒸氣對淀積工藝的影響，真空系統(tǒng)一般采用干泵和分子泵進行抽氣，干泵用于抽低真空，與常用的機械油泵相比，可以避免油泵中的油氣進入真空室污染基片。在干泵抽到一定壓力以下后，打開閘板閥，用分子泵抽高真空。分子泵的特點是抽本體真空能力強，尤其是除水蒸汽的能力非常強。2.2.2淀積系統(tǒng)淀積系統(tǒng)由射頻電源、水冷系統(tǒng)、基片加熱裝置等組成。它是PECVD的核心部分。射頻電源的作用是使反應氣體離子化。水冷系統(tǒng)主要為PECVD系統(tǒng)的機械泵、羅茨泵、干泵、分子泵等提供冷卻，當水溫超過泵體要求的溫度時，它會發(fā)出報警信號。冷卻水的管路采用塑料管等絕緣材料，不可用金屬管?；訜嵫b置的作用使樣品升溫到工藝要求溫度，除掉樣品上的水蒸氣等雜質，以提高薄膜與樣品的附著力。2.2.3氣體及流量控制系統(tǒng)PECVD系統(tǒng)的氣源幾乎都是由氣體鋼瓶供氣，這些鋼瓶被放置在有許多安全保護裝置的氣柜中，通過氣柜上的控制面板、管道輸送到PECVD的工藝腔體中。在淀積時，反應氣體的多少會影響淀積的速率及其均勻性等，因此需要嚴格控制氣體流量，通常采用質量流量計來實現(xiàn)精確控制。

9，PECVD定義

PECVD：是借助微波或射頻等使含有薄膜組成原子的氣體電離，在局部形成等離子體，而等離子化學活性很強，很容易發(fā)生反應，在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD). PECVD優(yōu)點：基本溫度低；沉積速率快；成膜質量好，針孔較少，不易龜裂。 PECVD缺點： 　1.設備投資大、成本高，對氣體的純度要求高； 　2.涂層過程中產生的劇烈噪音、強光輻射、有害氣體、金屬蒸汽粉塵等對人體有害； 　3.對小孔孔徑內表面難以涂層等。 常見的PECVD薄膜： 　氮化硅、氧化硅、氮氧硅等

10，PECVD是什么

等離子體增強化學氣相沉積
硅烷和氨的反應是沉積在晶片表面的SiN抗反射膜。采用高頻電源，以產生輝光放電等離子體技術影響的化學氣相沉積工藝。由于等離子體以促進氣體分子，化合物，激發(fā)和離子化，促進反應性基團形成的分解的存在，從而降低沉積溫度。 PECVD法在200℃?500℃沉積的范圍內，CVD沉積遠遠高于其他較小的在700℃?950℃范圍內。在大量的氫離子的反應被注入到硅晶片上，從而使懸掛鍵中硅缺陷無活性的飽和度，以達到表面和體鈍化鈍化目的。
PECVD--等離子體化學氣相沉積法　　為了使化學反應能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應，因而這種CVD稱為等離子體增強化學氣相沉積(PECVD).　　實驗機理：　　輝光放電等離子體中： 電子密度高 (109~1012/cm3)　　電子氣溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍　　雖環(huán)境溫度(100-300℃)，但反應氣體在輝光放電等離子體中能受激分解，離解和離化，從而大大 提高了參與反應物的活性?！　∫虼?，這些具有高反應活性的中性物質很容易被吸附到較低溫度的基本表面上，發(fā)生非平衡的化學反應沉積生成薄膜?！　?yōu)點：基本溫度低；沉積速率快；　　成膜質量好，針孔少，不易龜裂。　　缺點：1.設備投資大、成本高，對氣體的純度要求高；　　2.涂層過程中產生的劇烈噪音、強光輻射、有害氣體、金屬蒸汽粉塵等對人體有害；　　3.對小孔孔徑內表面難以涂層等?！　±樱涸赑ECVD工藝中由于等離子體中高速運動的電子撞擊到中性的反應氣體分子，就會使中性反應氣體分子變成碎片或處于激活的狀態(tài)容易發(fā)生反應。襯底溫度通常保持在350℃左右就可以得到良好的SiOx或SiNx薄膜，可以作為集成電路最后的鈍化保護層，提高集成電路的可靠性。
文章TAG：中文中文名稱名稱是什么PECVD

最近更新

  • 河北格致自動化有限公司,河北安格諾農化有限公司怎么樣?河北格致自動化有限公司,河北安格諾農化有限公司怎么樣?

    河北安固諾特農化有限公司是什么公司？北京平安楚云科技有限公司完成第三輪融資，安格瑙特農化有限公司是一家專業(yè)從事農藥化工產品研發(fā)、生產、銷售和服務的現(xiàn)代化企業(yè)。深圳自動化培訓哪.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • 牙型角，普通螺紋的牙型角是多少管螺紋牙型角是多少牙型角，普通螺紋的牙型角是多少管螺紋牙型角是多少

    普通螺紋的牙型角是多少管螺紋牙型角是多少普通螺紋60度，管螺紋55度額2，普通螺紋的牙型角是多少普通螺紋的牙形角是60°英制螺紋是55°梯形螺紋是30°鋸齒型螺紋有33°和45°兩種方牙螺.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • 多維數(shù)據(jù)分析，多維數(shù)據(jù)的聚類分析有哪些算法多維數(shù)據(jù)分析，多維數(shù)據(jù)的聚類分析有哪些算法

    多維數(shù)據(jù)的聚類分析有哪些算法聚類分析指的是將物理或抽象對象的集合分組為由類似的對象組成的多個類的分析過程。它是一種重要的人類行為。聚類分析的目標就是在相似的基礎上收集數(shù)據(jù).....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • z15，鋼材型號中Z15是什么意思z15，鋼材型號中Z15是什么意思

    鋼材型號中Z15是什么意思Z代表Z向鋼，后面的數(shù)字表示截面收縮率的指標(%)。具體什么叫Z向鋼，你直接百度百科里面會有詳細的解釋。。。普通拉伸試樣都是長度方向后者厚度方向取樣。z向也就.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • 電動車續(xù)航排名，電動車哪個品牌好求推薦續(xù)航能力好的電動車續(xù)航排名，電動車哪個品牌好求推薦續(xù)航能力好的

    電動車哪個品牌好求推薦續(xù)航能力好的續(xù)航能力跟電動車廠家的技術有關，業(yè)內這塊比較厲害的是臺鈴，以技術發(fā)家，定位就是“跑得更遠的電動車”，專攻產品品質和技術，這個定位還比較實際啦，讓電動.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • 冷凍電鏡，小于100kd的蛋白怎么做冷凍電鏡冷凍電鏡，小于100kd的蛋白怎么做冷凍電鏡

    小于100kd的蛋白怎么做冷凍電鏡SDS蛋白電泳能分開不同大小的蛋白，顏色的深淺表示蛋白表達量的多少，蛋白帶粗表示蛋白產量多堆積在一起我不會~~~但還是要微笑~~~：）2，能不能用冷凍組織做電鏡.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • sff，sff什么意思sff，sff什么意思

    sff什么意思SFF是SFF現(xiàn)在主要應用于刀片式服務器1U機架式服務器磁盤陣列熱插拔就是在開機的狀態(tài)下可以插入/拔取硬盤2，樂譜中sff是什么意思木有sff，有ff（很強）有mf（中強）f（強）p（弱）cresc（漸強）就是.....

    【問答】 日期：2024-10-08

  • cot，Cot是什么cot，Cot是什么

    Cot是什么數(shù)學中的三角函數(shù)鄰邊比對邊2，cot是什么表示三角形的余切值cot=1/tan落伍cot表示正切函數(shù)，正切函數(shù)是直角三角形中，對邊與鄰邊的比值。cot=1/tancot叫余切，是tan的倒數(shù)3，cot是什么.....

    【問答】 日期：2024-10-08