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mems技術，MEMS是什么意思

來源：整理 時間：2023-08-29 02:08:40 編輯：智能門戶 手機版

本文目錄一覽

1，MEMS是什么意思

微機電系統(tǒng)(MEMS) 謝謝采納

MEMS是什么意思

2，mems在機械工程中屬于什么領域

MEMS一般指微機電系統(tǒng)微機電系統(tǒng)（MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystem），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加
同問。。。

mems在機械工程中屬于什么領域

3，RFMEMS是什么技術

所謂RF MEMS是用MEMS技術加工的RF產(chǎn)品。RF-MEMS技術可望實現(xiàn)和MMIC的高度集成，使制作集信息的采集、處理、傳輸、處理和執(zhí)行于一體的系統(tǒng)集成芯片（SOC）成為可能。按微電子技術的理念，不僅可以進行圓片級生產(chǎn)、產(chǎn)品批量化，而且具有價格便宜、體積小、重量輕、可靠性高等優(yōu)點。 RF MEMS器件主要可以分為兩大類：一類稱為無源MEMS，其結構無可動零件；另一類稱為有源MEMS，有可動結構，在電應力作用下，可動零件會發(fā)生形變或移動。其關鍵加工技術分為四大類：平面加工技術、體硅腐蝕技術、固相鍵合技術、LIGA技術。
rf 射頻，radio frequency ，簡稱 rf 。射頻就是射頻 電流，它是一種高頻交流 變化電磁波的簡稱。所謂rf mems是用mems技術 加工的rf產(chǎn)品。rf-mems技 術可望實現(xiàn)和mmic的高度 集成，使制作集信息的采 集、處理、傳輸、處理和 執(zhí)行于一體的系統(tǒng)集成芯 片（soc）成為可能。按微 電子技術的理念，不僅可 以進行圓片級生產(chǎn)、產(chǎn)品 批量化，而且具有價格便 宜、體積小、重量輕、可 靠性高等優(yōu)點。 rf mems器件主要可以 分為兩大類：一類稱為無 源mems，其結構無可動零 件；另一類稱為有源 mems，有可動結構，在電 應力作用下，可動零件會 發(fā)生形變或移動。其關鍵 加工技術分為四大類：平 面加工技術、體硅腐蝕技 術、固相鍵合技術、liga 技術。

RFMEMS是什么技術

4，微機電是干什么一

微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的。1）微型化：MEMS器件體積小、重量輕、耗能低、慣性小、諧振頻率高、響應時間短。微機電系統(tǒng)2）以硅為主要材料，機械電器性能優(yōu)良：硅的強度、硬度和楊氏模量與鐵相當，密度類似鋁，熱傳導率接近鉬和鎢。3）批量生產(chǎn)：用硅微加工工藝在一片硅片上可同時制造成百上千個微型機電裝置或完整的MEMS。批量生產(chǎn)可大大降低生產(chǎn)成本。4）集成化：可以把不同功能、不同敏感方向或致動方向的多個傳感器或執(zhí)行器集成于一體，或形成微傳感器陣列、微執(zhí)行器陣列，甚至把多種功能的器件集成在一起，形成復雜的微系統(tǒng)。微傳感器、微執(zhí)行器和微電子器件的集成可制造出可靠性、穩(wěn)定性很高的MEMS。5）多學科交叉：MEMS涉及電子、機械、材料、制造、信息與自動控制、物理、化學和生物等多種學科，并集約了當今科學技術發(fā)展的許多尖端成果。以上內容是百度百科總而言之，就是微型化的傳感系統(tǒng)，比如說是微米級或者納米級，一般都是利用硅片經(jīng)過微機械加工制作而成
多層堆疊式壓電陶瓷微動器也叫疊層式微位移壓電陶瓷或多層堆疊式壓電陶瓷微動裝置，可用于微觀定位、閥門控制、減震及聲波的產(chǎn)生。壓電陶瓷微動器作為機電換能器能將電信號轉換成機械位移并應用于調節(jié)控制系統(tǒng)，多層堆疊結構壓電陶瓷具有以下特點： 1、體積??；2、位移分辨率極高；3、響應速度快；4、低電壓驅動；5、輸出力大。長沙鵬翔電子科技有限公司提供橫切面為正方形、長方形、圓形、多邊形等形狀的多層堆疊的壓電陶瓷微動器

5，由MEMS技術研發(fā)的產(chǎn)品及詳解

我認為 MEMS壓力傳感器的結構與工作原理及應用技術 　　MEMS是指集微型壓力傳感器、執(zhí)行器以及信號處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機電系統(tǒng)。 MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路（IC）設計技術和制造工藝，進行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費電子和工業(yè)過程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開方便之門，使壓力控制變得簡單易用和智能化?！　EMS壓力傳感器原理：　　目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機械電子傳感器。硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導體電阻應變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測量電路的，具有較高的測量精度、較低的功耗，極低的成本?；菟诡D電橋的壓阻式傳感器，如無壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電?！　EMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應力杯硅薄膜內壁，采用MEMS技術直接將四個高精密半導體應變片刻制在其表面應力最大處，組成惠斯頓測量電橋，作為力電變換測量電路，將壓力這個物理量直接變換成電量，其測量精度能達0.01%～0.03%FS。硅壓阻式壓力傳感器結構如圖3所示，上下二層是玻璃體，中間是硅片，硅片中部做成一應力杯，其應力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個典型的絕壓壓力傳感器。應力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成如圖2的電阻應變片電橋電路。當外面的壓力經(jīng)引壓腔進入傳感器應力杯中，應力硅薄膜會因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個電阻應變片因此而發(fā)生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，電橋輸出與壓力成正比的電壓信號?！　鹘y(tǒng)的機械量壓力傳感器是基于金屬彈性體受力變形，由機械量彈性變形到電量轉換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，成本也遠遠高于MEMS壓力傳感器。相對于傳統(tǒng)的機械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過1cm，使性價比相對于傳統(tǒng)“機械”制造技術大幅度提高?！?

6，納米技術在醫(yī)學中的運用

⒈納米材料：當物質到納米尺度以后，大約是在1—100納米這個范圍空間，物質的性能就會發(fā)生突變，出現(xiàn)特殊性能。這種既具不同于原來組成的原子、分子，也不同于宏觀的物質的特殊性能構成的材料，即為納米材料。如果僅僅是尺度達到納米，而沒有特殊性能的材料，也不能叫納米材料。過去，人們只注意原子、分子或者宇宙空間，常常忽略這個中間領域，而這個領域實際上大量存在于自然界，只是以前沒有認識到這個尺度范圍的性能。第一個真正認識到它的性能并引用納米概念的是日本科學家，他們在20世紀70年代用蒸發(fā)法制備超微離子，并通過研究它的性能發(fā)現(xiàn)：一個導電、導熱的銅、銀導體做成納米尺度以后，它就失去原來的性質，表現(xiàn)出既不導電、也不導熱。磁性材料也是如此，象鐵鈷合金，把它做成大約20—30納米大小，磁疇就變成單磁疇，它的磁性要比原來高1000倍。80年代中期，人們就正式把這類材料命名為納米材料。⒉納米動力學，主要是微機械和微電機，或總稱為微型電動機械系統(tǒng)（MEMS),用于有傳動機械的微型傳感器和執(zhí)行器、光纖通訊系統(tǒng)，特種電子設備、醫(yī)療和診斷儀器等.用的是一種類似于集成電器設計和制造的新工藝。特點是部件很小，刻蝕的深度往往要求數(shù)十至數(shù)百微米，而寬度誤差很小。這種工藝還可用于制作三相電動機，用于超快速離心機或陀螺儀等。在研究方面還要相應地檢測準原子尺度的微變形和微摩擦等。雖然它們目前尚未真正進入納米尺度，但有很大的潛在科學價值和經(jīng)濟價值。
納米是長度單位，等于10億分之1米，即1nm=0.000000001m,大體上等于四個原子的直徑。納米技術就是在納米的尺度范圍內，設法組成新物質，開發(fā)新應用的技術。它所涉及的領域介于宏觀和微觀之間，有著十分誘人的前景。例如納米碳管是由石墨中的一層或若干層碳原子卷曲而成的籠狀纖維，內部空心，外部直徑只有幾到幾十納米，相當于頭發(fā)絲的萬分之一，密度只有鋼的六分之一，而強度卻是鋼的100倍，是做成防彈背心等織物的理想材料。也可以作為顯象管底板涂層，生產(chǎn)出薄型、節(jié)能的壁掛式電視屏。利用納米技術可以把電子囚禁在一個納米顆?；蛞桓鶚O細的短金屬絲內，進而制成單電子器件，即用一個電子來控制電路。這樣計算機的容量和計算速度可大為提高。用納米技術做成的所謂量子磁盤，能作高密度的磁記錄，每平方厘米的面積上可儲存3萬部《紅樓夢》。
納米是長度單位，原稱毫微米，就是10的-9次方米（10億分之一米）。納米科學與技術，有時簡稱為納米技術，是研究結構尺寸在1至100納米范圍內材料的性質和應用。從具體的物質說來，人們往往用細如發(fā)絲來形容纖細的東西，其實人的頭發(fā)一般直徑為20-50微米，并不細。單個細菌用肉眼看不出來，用顯微鏡測出直徑為5微米，也不算細。極而言之，1納米大體上相當于4個原子的直徑。假設一根頭發(fā)的直徑為0.05毫米，把它徑向平均剖成5萬根，每根的厚度即約為1納米
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