化學(xué)機(jī)械拋光，物理拋光和化學(xué)拋光有什么區(qū)別

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本文目錄一覽

1，物理拋光和化學(xué)拋光有什么區(qū)別
2，電化學(xué)機(jī)械拋光使用直流電源好還是脈沖電源好
3，Chemical Mechanical Planarization 什么意思
4，機(jī)械拋光與電解拋光和化學(xué)拋光的區(qū)別
5，不銹鋼拋光的化學(xué)拋光
6，拋光都有哪些常見的方式方法

1，物理拋光和化學(xué)拋光有什么區(qū)別

物理拋光和化學(xué)拋光有的區(qū)別物理拋光是用機(jī)械方式將物體表面整平，例如研磨等。化學(xué)拋光是用化學(xué)腐蝕的方式將物體表面整平，例如用加入整平劑的硫酸清洗金屬表面。

物理拋光和化學(xué)拋光有什么區(qū)別

2，電化學(xué)機(jī)械拋光使用直流電源好還是脈沖電源好

脈沖電源好，機(jī)械拋光是依靠非常細(xì)小的拋光粉的磨削、滾壓作用，除去試樣磨面上的極薄一層金屬。如果拋光前磨面上留有較深的磨痕，僅采用機(jī)械拋光是難以去除的。

電解電源一般使用高頻脈沖電源比較好，12v多少a看設(shè)備的槽多大了

電化學(xué)機(jī)械拋光使用直流電源好還是脈沖電源好

3，Chemical Mechanical Planarization 什么意思

化學(xué)機(jī)械拋光（Chemical mechanical planarization，CMP）技術(shù)于90年代前期開始被引入半導(dǎo)體硅晶片工序，從氧化膜等層間絕緣膜開始，推廣到聚合硅電極、導(dǎo)通用的鎢插塞（W-Plug）、STI（元件分離），而在與器件的高性能畫同時引進(jìn)的銅布線工藝技術(shù)方面，現(xiàn)在已經(jīng)成為關(guān)鍵技術(shù)之一。雖然目前有多種平坦化技術(shù)，同時很多更為先進(jìn)的平坦化技術(shù)也在研究當(dāng)中嶄露頭角，但是化學(xué)機(jī)械拋光已經(jīng)被證明是目前最佳也是唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局平坦化的技術(shù)。進(jìn)入深亞微米以后，擺在CMP面前的代表性課題之一就是對于低介電常數(shù)材料的全局平

Chemical Mechanical Planarization 什么意思

4，機(jī)械拋光與電解拋光和化學(xué)拋光的區(qū)別

機(jī)械拋光。買個手動拋光機(jī)，就是一個手動電鉆，鉆頭換成拋光鋼絲刷或者磨石。成本100-500元，操作簡單，見效快。不過效果：粗糙度SA2級吧電解拋光化學(xué)拋光這個投資大呀，需要專門的槽子，配一次拋光液花費就不少，還不能保證成功。當(dāng)然，水平高的話，可以達(dá)到瑞典Sa2.5級

電解拋光，是金屬零件在特定條件下的陽極侵蝕。這一過程能改善金屬表面的微觀幾何形狀，降低金屬表面的顯微粗糙程度，從而達(dá)到使零件表面光亮的目的?；瘜W(xué)拋光，是金屬零件在特定條件下的化學(xué)浸蝕。在這一浸蝕過程中，金屬表面被溶液浸蝕和整平，從而獲得了比較光亮的表面。

5，不銹鋼拋光的化學(xué)拋光

化學(xué)拋光是不銹鋼常用的表面處理工藝，與電化學(xué)拋光工藝相比，其最大優(yōu)點是不需要直流電源和特殊夾具，可以拋光形狀復(fù)雜的零件，生產(chǎn)率很高。就功能性而言，化學(xué)拋光除了能得到物理、化學(xué)清潔度的表面外，還能除去不銹鋼表面的機(jī)械損傷層和應(yīng)力層，得到機(jī)械清潔度的表面，這有利于防止零件的局部腐蝕，提高機(jī)械強(qiáng)度、延長零件使用壽命。從本世紀(jì)40年代初有了關(guān)于不銹鋼化學(xué)拋光的專利以來，迄今已有不少配方公諸于世，但人們在實際應(yīng)用時仍然感到很困難。因為不銹鋼品種繁多，不同牌號的不銹鋼具有不同的腐蝕規(guī)律，不可能采用同一種溶液，所以不銹鋼化學(xué)拋光溶液有多種類型?；瘜W(xué)拋光溶液的基本組成包括腐蝕劑、氧化劑和水。腐蝕劑是主要成份，如果不銹鋼在溶液中溶解，拋光便不能進(jìn)行。氧化劑和添加劑可抑制過程，使反應(yīng)朝有利于拋光的方向進(jìn)行。水對溶液濃度起調(diào)節(jié)作用，便于反應(yīng)產(chǎn)物的擴(kuò)散。不銹鋼化學(xué)拋光能否順利進(jìn)行，取決于上述成分的合理配合。

電解拋光的特點: 電解拋光是利用不銹鋼在電解液中的選擇性陽極溶解而達(dá)到拋光和清潔表面目的的一種表面處理方法。具有以下優(yōu)點：(1)極大提高表面耐蝕性。由于電解拋光對元素的選擇性溶出,使得表面生成一層致密堅固的富鉻固體透明膜,并形成等電式表面,從而消除和減輕微電池腐蝕。(2)電解拋光后的微觀表面比機(jī)械拋光的更平滑,反光率更高。這使得設(shè)備不粘壁、不掛料、易清洗，工件表面約減少1絲左右，達(dá)到gmp和fda規(guī)范要求。(3)電解拋光不受工件尺寸和形狀的限制。對不宜進(jìn)行機(jī)械拋光的工件可實施拋光，例如細(xì)長管內(nèi)壁、彎頭、螺栓、螺母和容器內(nèi)外壁。電解拋光優(yōu)于機(jī)械拋光：a.有表面等電勢條件； b.不易捕獲污染物； c.表面可形成更具有耐蝕性的透明固體鹽膜； d.不產(chǎn)生beillby層。電化學(xué)拋光的特點：電化學(xué)拋光是利用金屬電化學(xué)陽極溶解原理進(jìn)行修磨拋光。將電化學(xué)預(yù)拋光和機(jī)械精拋光有機(jī)的結(jié)合在一起，發(fā)揮了電化學(xué)和機(jī)構(gòu)兩類拋光特長。它不受材料硬度和韌性的限制，可拋光各種復(fù)雜形狀的工件。其方法與電解磨削類似。優(yōu)點：所加工的不銹鋼更鏡面化。

6，拋光都有哪些常見的方式方法

1、機(jī)械拋光機(jī)械拋光是靠切削、材料表面塑性變形去掉被拋光后的凸部而得到平滑面的拋光方法，一般使用油石條、羊毛輪、砂紙等，以手工操作為主，特殊零件如回轉(zhuǎn)體表面，可使用轉(zhuǎn)臺等輔助工具，表面質(zhì)量要求高的可采用超精研拋的方法。超精研拋是采用特制的磨具，在含有磨料的研拋液中，緊壓在工件被加工表面上，作高速旋轉(zhuǎn)運動。利用該技術(shù)可以達(dá)到Ra0.008μm的表面粗糙度，是各種拋光方法中最高的。光學(xué)鏡片模具常采用這種方法。2、化學(xué)拋光化學(xué)拋光是讓材料在化學(xué)介質(zhì)中表面微觀凸出的部分較凹部分優(yōu)先溶解，從而得到平滑面。這種方法的主要優(yōu)點是不需復(fù)雜設(shè)備，可以拋光形狀復(fù)雜的工件，可以同時拋光很多工件，效率高?；瘜W(xué)拋光的核心問題是拋光液的配制?；瘜W(xué)拋光得到的表面粗糙度一般為數(shù)10μm。3、電解拋光電解拋光基本原理與化學(xué)拋光相同，即靠選擇性的溶解材料表面微小凸出部分，使表面光滑。與化學(xué)拋光相比，可以消除陰極反應(yīng)的影響，效果較好。電化學(xué)拋光過程分為兩步：(1)宏觀整平溶解產(chǎn)物向電解液中擴(kuò)散，材料表面幾何粗糙下降，Ra>1μm。(2)微光平整陽極極化，表面光亮度提高，Ra<1μm。4、超聲波拋光將工件放入磨料懸浮液中并一起置于超聲波場中，依靠超聲波的振蕩作用，使磨料在工件表面磨削拋光。超聲波加工宏觀力小，不會引起工件變形，但工裝制作和安裝較困難。超聲波加工可以與化學(xué)或電化學(xué)方法結(jié)合。在溶液腐蝕、電解的基礎(chǔ)上，再施加超聲波振動攪拌溶液，使工件表面溶解產(chǎn)物脫離，表面附近的腐蝕或電解質(zhì)均勻；超聲波在液體中的空化作用還能夠抑制腐蝕過程，利于表面光亮化。5、流體拋光流體拋光是依*高速流動的液體及其攜帶的磨粒沖刷工件表面達(dá)到拋光的目的。常用方法有：磨料噴射加工、液體噴射加工、流體動力研磨等。流體動力研磨是由液壓驅(qū)動，使攜帶磨粒的液體介質(zhì)高速往復(fù)流過工件表面。介質(zhì)主要采用在較低壓力下流過性好的特殊化合物并摻上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。6、磁研磨拋光磁研磨拋光是利用磁性磨料在磁場作用下形成磨料刷，對工件磨削加工。這種方法加工效率高，質(zhì)量好，加工條件容易控制，工作條件好。采用合適的磨料，表面粗糙度可以達(dá)到Ra0.1μm。

1.機(jī)械拋光機(jī)械拋光是依靠非常細(xì)小的拋光粉的磨削、滾壓作用，除去試樣磨面上的極薄一層金屬。如果拋光前磨面上留有較深的磨痕，僅采用機(jī)械拋光是難以去除的。因為若將磨痕拋掉，勢必要加濃拋光液，加長時間或加重拋光時所施加的壓力，導(dǎo)致磨面表層金屬流動和擾亂，試樣磨面變形層加厚，使一些合金中的晶相脫落。尤其是硬度不太大鋁合金是時，磨面表層的氧化將更厲害，從而影響組織觀察。所以進(jìn)行機(jī)械拋光的試樣在細(xì)磨后只允許留有單一方向均勻的細(xì)磨痕。2.化學(xué)拋光化學(xué)拋光是靠化學(xué)試劑的化學(xué)浸蝕作用對樣品表面凹凸不平區(qū)域的選擇性溶解作用消除磨痕、浸蝕整平的一種方法?；瘜W(xué)拋光設(shè)備簡單，能夠處理細(xì)管、帶有深孔及形狀復(fù)雜的零件，生產(chǎn)效率高。化學(xué)拋光可作為電鍍預(yù)處理工序，也可在拋光后輔助以必要的防護(hù)措施直接使用。3.電解拋光電解拋光是指金屬制品在一定組成的溶液中進(jìn)行特殊的陽極處理，以獲得平滑、光亮表面的精飾加工過程。它既可以作制品電鍍前的表面準(zhǔn)備，也可作鍍后表面的精飾，還可作為金屬表面獨立的精飾加工方法。廣東熙泉機(jī)電有限公司5.磁性研磨拋光磁性研磨拋光的方法是采用磁性研磨劑，通過磁場中磁力的作用，磁性研磨劑工作在表面，同時保持在模具表面和磁極之間間斷工作。因此在制造過程中磁粒被有序的安排在沿著磁力線周圍。同時形成了磁性刷，在磁力作用下圍繞在模具表面。由于磁場和被加工件的旋轉(zhuǎn)會使磁性刷和被加工件的表面產(chǎn)生一個相關(guān)的運動，這樣可以用磁性研磨劑來拋光被加工件表面。通常在拋光時用一些儀器，例如數(shù)字控制磨機(jī)或者加工中心。6.流體拋光流體拋光是依靠高速流動的液體及其攜帶的磨粒沖刷工件表面達(dá)到拋光的目的。常用方法有：磨料噴射加工、液體噴射加工、流體動力研磨等。流體動力研磨是由液壓驅(qū)動，使攜帶磨粒的液體介質(zhì)高速往復(fù)流過工件表面。介質(zhì)主要采用在較低壓力下流過性好的特殊化合物（聚合物狀物質(zhì)）并摻上磨料制成，磨料可采用碳化硅粉末。7.磁流變拋光磁流變拋光技術(shù)，是利用磁流變拋光液在梯度磁場中發(fā)生流變而形成的具有黏塑行為的柔性"小磨頭"與工件之間具有快速的相對運動，使工件表面受到很大的剪切力，從而使工件表面材料被去除。磁流變拋光(MRF)是電磁理論、流體力學(xué)、分析化學(xué)等應(yīng)用于光學(xué)表面加工而形成的一項綜合技術(shù)。磁流變液是一種智能材料，其在磁場的作用下，可在1ms的時間內(nèi)實現(xiàn)固-液兩相的可逆轉(zhuǎn)換。8.化學(xué)機(jī)械拋光（CMP） CMP，即Chemical Mechanical Polishing，化學(xué)機(jī)械拋光。CMP技術(shù)所采用的設(shè)備及消耗品包括：拋光機(jī)、拋光漿料、拋光墊、后CMP清洗設(shè)備、拋光終點檢測及工藝控制設(shè)備、廢物處理和檢測設(shè)備等。CMP技術(shù)的概念是1965年由Monsanto首次提出。該技術(shù)最初是用于獲取高質(zhì)量的玻璃表面，如軍用望遠(yuǎn)鏡等。1988年IBM開始將CMP技術(shù)運用于4MDRAM 的制造中，而自從1991年IBM將CMP成功應(yīng)用到64MDRAM 的生產(chǎn)中以后，CMP技術(shù)在世界各地迅速發(fā)展起來。區(qū)別于傳統(tǒng)的純機(jī)械或純化學(xué)的拋光方法，CMP通過化學(xué)的和機(jī)械的綜合作用，從而避免了由單純機(jī)械拋光造成的表面損傷和由單純化學(xué)拋光易造成的拋光速度慢、表面平整度和拋光一致性差等缺點。它利用了磨損中的“軟磨硬”原理，即用較軟的材料來進(jìn)行拋光以實現(xiàn)高質(zhì)量的表面拋光。 CMP拋光液是以高純硅粉為原料，經(jīng)特殊工藝生產(chǎn)的一種高純度低金屬離子型拋光產(chǎn)品，廣泛用于多種材料納米級的高平坦化拋光。廣東熙泉機(jī)電有限公司。

1.電拋光后，表面為什么會發(fā)現(xiàn)似未拋光的斑點或小塊？原因分析：拋光前除油不徹底，表面尚附有油跡。2.拋光過后表面局部為什么有灰黑色斑塊存在？原因分析：可能氧化皮未徹底除干凈。局部尚存在氧化皮。解決方法：加大清除氧化皮力度，可選用“ 不銹鋼氧化皮清除液”，“不銹鋼氧化皮清除膏”等產(chǎn)品。因除銹除氧化皮產(chǎn)品較多，具體適用產(chǎn)品可咨詢威海云清化工開發(fā)院。3.拋光后工件棱角處及尖端過腐蝕是什么原因引起的？原因分析：棱角、尖端的部位電流過大，或電解液溫度過高，拋光時間過長，導(dǎo)致過度溶解。解決方法：調(diào)整電流密度或溶液溫度，或縮短時間。檢查電極位置，在棱角處設(shè)置屏蔽等。4.為什么工件拋光后不光亮并呈灰暗色？分析原因：可能電化學(xué)拋光溶液已不起作用，或作用不明顯。解決方法：檢查電解拋光液是否使用時間過長，質(zhì)量下降，或溶液成分比例失調(diào)。5.工件拋光后表面有白色的條紋是怎么回事？原因分析：溶液相對密度太大，液體太稠，相對密度大于1.82。解決方法：增大溶液的攪拌程度，如果溶液相對密度太大，用水稀釋至1.72。在90~100℃條件下并加熱一小時。6.為什么拋光后表面有陰陽面，及局部無光澤的現(xiàn)象？原因分析：工件放置的位置沒有與陰極對正，或工件互相有屏蔽。解決方法：將工件進(jìn)行適當(dāng)?shù)恼{(diào)整，使工件與陰極的位置適當(dāng)，使電力分布合理。7.拋光后工件表面平整光潔，但有些點或塊不夠光亮，或出現(xiàn)垂直狀不亮條紋，一般是什么原因引起的？原因分析：可能是拋光后期工件表面上產(chǎn)生的氣泡未能及時脫離并附在表面或表面有氣流線路。解決方法：提高電流密度，使析氣量加大以便氣泡脫附，或提高溶液的攪拌速度，增加溶液的流動。8.零件和掛具接觸點無光澤并有褐色斑點，表面其余部分都光亮是什么原因？原因分析：可能是零件與掛具的接觸不良，造成電流分布不均，或零件與掛具接觸點少。解決方法：擦亮掛具接觸點，使導(dǎo)電良好，或增大零件與掛具的接觸點面積。9.同一槽拋光的零件有的光亮，有的不亮，或者局部不亮。原因分析：同槽拋光工件太多，致使電流分布不均勻，或者是工件之間互相重疊，屏蔽。解決方法：減少同槽拋光工件的數(shù)量，或者注意工件的擺放位置。10．為什么拋光零件凹入部位和零件與掛具接觸點接觸附近有銀白色斑點？原因分析：可能是零件的凹入部位被零件本身或掛具屏蔽了。解決方法：適當(dāng)改變零件位置，使凹入部位能得到電力線或縮小電極之間距離或提高電流密度。11.已嚴(yán)格按照工藝規(guī)范操作，為什么拋光后零件表面有或多或少的過腐蝕現(xiàn)象？原因分析：是否溶液溫度過高或電流密度太大，如果溶液配制沒有問題，又嚴(yán)格操作，則可能是拋光前的處理問題。解決方法：嚴(yán)格執(zhí)行電化學(xué)拋光前處理的操作，在酸洗過程中避免過腐蝕。不要把清洗水留在零件表面，帶進(jìn)拋光槽。12.“不銹鋼通用電解液”為什么使用一段時間會出現(xiàn)泡沫？原因分析：工件表面未除油，一些油污浮在電解液表面，對操作帶來了困難。解決方法：已經(jīng)出現(xiàn)此情況的，建議將表面的油污撈出，未出現(xiàn)的建議在拋光前進(jìn)行除油。13.電化學(xué)拋光液內(nèi)硫酸與磷酸之間有什么關(guān)系？原因分析：硫酸較多，拋光速度過快，對金屬基體可加快腐蝕，磷酸較多，可在工件表面吸附一種黏膜，亮度下降，拋光速度變慢。當(dāng)然也不排除其他因素。解決方法：調(diào)整硫酸磷酸合適比例。也可以選擇“各種無鉻電解添加劑”配方。14.工件拋光后表面無光澤，在淺黃色底子上有白色斑點，一般什么原因引起的？原因分析：可能是電解拋光溶液中鉻酐含量過高，甚至超過1.5%。解決方法：鉻離子屬于重金屬離子，對人體有致癌作用，污染環(huán)境，可選用無鉻拋光液。推薦使用“不銹鋼通用電解液”。15.電解液成本核算主要是哪些？主要是電費、電解液、整流器、電解槽、極板、銅棒、加熱管等。16.不銹鋼各種材質(zhì)在電解拋光時電流密度是多少？與電解成本有什么關(guān)聯(lián)？原因分析：在市場常規(guī)情況下不銹鋼各種材質(zhì)在電解液的密度為：200系列不銹鋼材質(zhì)電流密度在25—50安培之間，300系列不銹鋼材質(zhì)電流密度在15—30安培之間，400系列不銹鋼材質(zhì)電流密度在30—55安培之間。200系列不銹鋼材質(zhì)電流密度在15—25安培之間，300系列不銹鋼材質(zhì)在10—15安培之間，400系列不銹鋼材質(zhì)在25—30之間。電流密度越大，耗電量越大。而在電解成本核算中，電費所占的比例很大。17.拋光后經(jīng)擦拭干凈扔無光澤，有淺蘭色陰影什么原因？原因分析：可能是電化學(xué)拋光液配制后，未進(jìn)行加熱及通電處理，或溶液操作溫度偏低。解決方案：120℃下加熱電拋光液一小時或?qū)㈦娊庖杭訜岬揭?guī)定溫度。18.拋光后無光并且有黃色斑點是什么原因引起的？原因分析：可能電化學(xué)溶液的相對密度偏小，已小于1.70。解決方案：調(diào)整電拋光的相對密度或在80—100℃條件下加熱濃縮以增大起相對密度?；蚴歉鼡Q新液。19.工件拋光后，為什么從槽中取出就出現(xiàn)褐色斑點？原因分析：可能是電拋光不夠，或是時間較短。解決方法：首先適當(dāng)延長拋光時間，如果無作用，則可能是溫度或者電流密度不夠的問題。20.電解時為什么容易出現(xiàn)打火現(xiàn)象？原因分析：導(dǎo)致這一現(xiàn)象有三點因素：一是掛具與工件接觸點不牢固，二是電解液密度太低，三是電流密度過高。解決方法：多換幾種掛具與工件連接方法，盡量多增加掛具與工件的接觸點。如是電解液密度太低，可更換電解液，建議選用“不銹鋼通用電解液”。21.不銹鋼電解液操作溫度對電解拋光有什么影響？最佳溫度是多少？原因分析：一般電解液使用溫度為50—90℃之間，溫度較低，拋光速度較慢，光亮度下降。溫度過高，液體對工件腐蝕加快，容易引起工件過腐蝕，電解液有效成分容易分解。解決方法：溫度較低應(yīng)加熱到規(guī)定溫度，加熱可使用各種加熱管（如石英，鈦材質(zhì)加熱管），長時間工作溫度會上升，當(dāng)溫度超過90℃時應(yīng)停止工作，散熱可選用攪拌或冷卻循環(huán)方式。最佳使用溫度是50—90℃，“不銹鋼通用電解液”的最佳使用溫度為50—80℃。22.不銹鋼工件表面凹凸不平，麻點呈凸?fàn)?，什么原因引起的？原因分析：表面銹蝕較多，電解液只是微觀腐蝕整平，較多的銹蝕電解液不能完全清除，如延長拋光時間，大量鐵離子沉入電解液底部，降低電解液使用壽命。解決方法：將工件表面的銹蝕清除干凈。推薦使用“不銹鋼活化液”，“除銹水”，“氧化皮清除液”等產(chǎn)品進(jìn)行清洗除銹。23.影響電化學(xué)拋光的主要因素有哪些？溫度，時間，工件材質(zhì)，電解質(zhì)，電壓，電流，工件擺放位置。24.在做不銹鋼電解拋光時，表面吸附一層淺紅色物質(zhì)，再次放入電解液會有短時間的反應(yīng)，什么原因？原因分析：用銅掛具，銅離子進(jìn)入電解液吸附到陽極表面，影響拋光質(zhì)量，再次放入會有短時間反應(yīng)是因為電解液將工件表面的銅離子溶解了。解決方法：選用鈦掛具，在夾具裸露處用聚氯乙烯樹脂烘烤成膜，在接觸點刮去絕緣膜，漏出金屬以利于導(dǎo)電。25.陰陽極的最佳面積比是多少？陽極比陰極為1：2—3.5之間。26.兩極最佳極距是多少？陰極距陽極最佳距離為10—30厘米。27.不銹鋼通用電解拋光液在老化后怎樣維護(hù)？不銹鋼通用電解液老化后可以添加硫酸（密度為1.84），添加量為槽液重量的6%，或是參考386a·h/l.28.初次進(jìn)行電解拋光，不僅沒有拋出亮度，而且工件表面全部變成黑色或灰色，是什么原因引起的？原因分析：發(fā)生這種現(xiàn)象一般是兩極接反了，接反后鉛板成正極溶解，工件成陰極吸附，工件溶解在溶液中的鐵鎳鉻離子吸附在工件表面，形成了一層結(jié)合力不好的膜層。解決方法：將正負(fù)極重新連接，陽極接正極，陰極接負(fù)極。