等離子刻蝕機(jī)，感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)工作原理是什么
感應(yīng)耦合等離子體刻蝕機(jī)工作原理是什么利用ICP產(chǎn)生高密度等離子體，等離子體中的活性基團(tuán)或者離子與所需刻蝕的材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并去除；一般在刻蝕的過程中同時(shí)也伴隨著物理轟擊，并把相應(yīng)的鍵能打開，從而加速反應(yīng)的進(jìn)程。2，等離子刻蝕機(jī)工作原理利用icp產(chǎn)生高密度等離子體，等離子體中的活性基團(tuán)或者離子與所需刻蝕的材料發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并去除；一般在刻蝕的過程中同時(shí)也伴隨著物理轟擊，并把相應(yīng)的鍵能打開，從而加速反應(yīng)的進(jìn)程。CF4在高溫高頻作用，與氧氣反應(yīng)，形成氟離子，撞擊硅片周圍，形成PN極（去除N極，形成P極）3...
更新時(shí)間：2024-12-09標(biāo)簽： 等離子離子刻蝕感應(yīng)等離子刻蝕機(jī) 全文閱讀