DUV認(rèn)證是什么2，光刻機(jī)的分類3，光刻機(jī)的介紹4，求解DUV是什么啊5，光刻機(jī)的性能指標(biāo)6，我的中國(guó)芯播出時(shí)間1，DUV認(rèn)證是什么TUV認(rèn)證，專為元器件產(chǎn)品定制的一個(gè)安全認(rèn)證。DUV認(rèn)證是德國(guó)萊茵TüV的前身。2，光刻機(jī)的分類光刻機(jī)一般根據(jù)操作的簡(jiǎn)便性分為三種，手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)A手動(dòng)：指的是對(duì)準(zhǔn)的調(diào)節(jié)方式，是通過(guò)手調(diào)旋鈕改變它的X軸，Y軸和thita角度來(lái)完成對(duì)準(zhǔn)，對(duì)準(zhǔn)精度可想而知不高了；B半自動(dòng)：指的是對(duì)準(zhǔn)可以通過(guò)電動(dòng)軸根據(jù)CCD的進(jìn)行定位調(diào)諧；C自動(dòng)：指的是從基板的上載下載，曝光時(shí)長(zhǎng)和循環(huán)都...