多晶硅生產(chǎn)工藝，多晶硅的生產(chǎn)工藝是
多晶硅的生產(chǎn)工藝是2，多晶硅的生產(chǎn)工藝3，多晶硅生產(chǎn)工藝流程4，冶金法生產(chǎn)多晶硅的工藝流程1，多晶硅的生產(chǎn)工藝是晶硅的生產(chǎn)工藝主要由高純石英（經(jīng)高溫焦碳還原）→工業(yè)硅（酸洗）→硅粉（加HCL）→SiHCL3（經(jīng)過(guò)粗餾精餾）→高純SiHCL3（和H2反應(yīng)CVD工藝）→高純多晶硅其他不知道，呵呵2，多晶硅的生產(chǎn)工藝流化床法以四氯化硅、氫氣、氯化氫和工業(yè)硅為原料在流化床內(nèi)（沸騰床）高溫高壓下生成三氯氫硅，將三氯氫硅再進(jìn)一步歧化加氫反應(yīng)生成二氯二氫硅，繼而生成硅烷氣。制得的硅烷氣通入加有小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)...
更新時(shí)間：2023-08-18標(biāo)簽： 多晶硅生產(chǎn)生產(chǎn)工藝工藝多晶硅生產(chǎn)工藝 全文閱讀