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mems是什么意思，mems是什么

來(lái)源：整理 時(shí)間：2023-10-07 01:52:22 編輯：智能門戶 手機(jī)版

本文目錄一覽

1，mems是什么

微機(jī)電系統(tǒng)的英文名字。

mems是什么

2，MEMS是什么意思

微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS) 謝謝采納

MEMS是什么意思

3，什么是MEMS技術(shù)

MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng)或稱微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)?？疵謶?yīng)該能知道是做什么的了吧。具體內(nèi)容十分豐富且復(fù)雜，說(shuō)不清楚

什么是MEMS技術(shù)

4，小弟讀研想去微機(jī)械MEMS這個(gè)專業(yè)但最近聽(tīng)說(shuō)這個(gè)專業(yè)都是

朋友你好，這個(gè)專業(yè)叫微納制造或者精微制造，MEMS是微機(jī)電系統(tǒng)的意思。這個(gè)專業(yè)不像你說(shuō)的是搞理論的，其實(shí)應(yīng)該算做是搞工藝的。真正要理論分析的東西不會(huì)要碩士生來(lái)做這個(gè)方向偏工藝，偏實(shí)驗(yàn)，你深入其中，也會(huì)你會(huì)很喜歡的我支持你選擇這個(gè)專業(yè)方向出來(lái)很好就業(yè)的，尤其是各大研究所：中國(guó)電子科技集團(tuán)一大批研究所，中科院也有很多研究所，微電子所，半導(dǎo)體所……太多了，你自己可以了解一下。另外，華為中興之類的做硬件研發(fā)的話，也招微納專業(yè)方向的學(xué)生。相信我，不會(huì)錯(cuò)的。

5，MEMS加工工藝 介紹

MEMS----Micro-Electro-Mechanical Systems(美國(guó))微機(jī)電系統(tǒng)，也稱為微機(jī)械（日本）或微系統(tǒng)（歐洲）。它是指可批量制作的，集微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、直至接口、通信和電源等于一體的微型器件或系統(tǒng)。 MEMS概述 特點(diǎn) 微型化：體積小、重量輕、耗能低、慣性小 以硅為主要材料，機(jī)械電器性能優(yōu)良：硅的強(qiáng)度、硬度和楊氏模量與鐵相當(dāng)，密度類似鋁，熱傳 導(dǎo)率接近鉬和鎢 批量生產(chǎn)：降低生產(chǎn)成本 集成化 多學(xué)科交叉：涉及電子、機(jī)械、材料、制造、信息與自動(dòng)控制、物理、化學(xué)和生物等多種學(xué)科
光刻 腐蝕 薄膜 擴(kuò)散 外延 鍵合 等等等等 這是很深的一門學(xué)問(wèn)，足夠研究一輩子

6，由MEMS技術(shù)研發(fā)的產(chǎn)品及詳解

我認(rèn)為 MEMS壓力傳感器的結(jié)構(gòu)與工作原理及應(yīng)用技術(shù) 　　MEMS是指集微型壓力傳感器、執(zhí)行器以及信號(hào)處理和控制電路、接口電路、通信和電源于一體的微型機(jī)電系統(tǒng)。 MEMS壓力傳感器可以用類似集成電路（IC）設(shè)計(jì)技術(shù)和制造工藝，進(jìn)行高精度、低成本的大批量生產(chǎn)，從而為消費(fèi)電子和工業(yè)過(guò)程控制產(chǎn)品用低廉的成本大量使用MEMS傳感器打開(kāi)方便之門，使壓力控制變得簡(jiǎn)單易用和智能化。　　MEMS壓力傳感器原理：　　目前的MEMS壓力傳感器有硅壓阻式壓力傳感器和硅電容式壓力傳感器，兩者都是在硅片上生成的微機(jī)械電子傳感器。硅壓阻式壓力傳感器是采用高精密半導(dǎo)體電阻應(yīng)變片組成惠斯頓電橋作為力電變換測(cè)量電路的，具有較高的測(cè)量精度、較低的功耗，極低的成本。惠斯頓電橋的壓阻式傳感器，如無(wú)壓力變化，其輸出為零，幾乎不耗電?！　EMS硅壓阻式壓力傳感器采用周邊固定的圓形的應(yīng)力杯硅薄膜內(nèi)壁，采用MEMS技術(shù)直接將四個(gè)高精密半導(dǎo)體應(yīng)變片刻制在其表面應(yīng)力最大處，組成惠斯頓測(cè)量電橋，作為力電變換測(cè)量電路，將壓力這個(gè)物理量直接變換成電量，其測(cè)量精度能達(dá)0.01%～0.03%FS。硅壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu)如圖3所示，上下二層是玻璃體，中間是硅片，硅片中部做成一應(yīng)力杯，其應(yīng)力硅薄膜上部有一真空腔，使之成為一個(gè)典型的絕壓壓力傳感器。應(yīng)力硅薄膜與真空腔接觸這一面經(jīng)光刻生成如圖2的電阻應(yīng)變片電橋電路。當(dāng)外面的壓力經(jīng)引壓腔進(jìn)入傳感器應(yīng)力杯中，應(yīng)力硅薄膜會(huì)因受外力作用而微微向上鼓起，發(fā)生彈性變形，四個(gè)電阻應(yīng)變片因此而發(fā)生電阻變化，破壞原先的惠斯頓電橋電路平衡，電橋輸出與壓力成正比的電壓信號(hào)?！　鹘y(tǒng)的機(jī)械量壓力傳感器是基于金屬?gòu)椥泽w受力變形，由機(jī)械量彈性變形到電量轉(zhuǎn)換輸出，因此它不可能如MEMS壓力傳感器那樣做得像IC那么微小，成本也遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于MEMS壓力傳感器。相對(duì)于傳統(tǒng)的機(jī)械量傳感器，MEMS壓力傳感器的尺寸更小，最大的不超過(guò)1cm，使性價(jià)比相對(duì)于傳統(tǒng)“機(jī)械”制造技術(shù)大幅度提高?！?
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