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短溝道效應，短溝道效應的簡介

來源：整理 時間：2024-10-10 10:35:19 編輯：智能門戶 手機版

1，短溝道效應的簡介

英文名稱：Short-channel effects解釋一：短溝道效應主要是指閾值電壓與溝道相關到非常嚴重的程度。解釋二：溝道長度減小到一定程度后出現的一系列二級物理效應統(tǒng)稱為短溝道效應。包括：

短溝道效應的簡介

2，JFET短溝道效應和MOSFET的短溝道效應有什么相同和不同點

本質上是相同的，短溝道效應引起閾值電壓的變化，都可以認為是由于“電荷共享”所造成的。關于JFET和MOSFET，詳見“http://blog.163.com/xmx028@126/”中的有關說明。

JFET短溝道效應和MOSFET的短溝道效應有什么相同和不同點

3，finfet 如何解決短溝道效應

1.覆蓋一層非晶表面層(阻擋層)2.將晶圓偏離主晶向5°~10°3.以大劑量硅或鍺注入，對晶圓表面預損傷可在晶圓表面產生一個隨機層。
雖然我很聰明，但這么說真的難到我了

finfet 如何解決短溝道效應

4，半導體器件中的SCEs是什么意思

short-channel effects，SCEs. 短溝道效應。當MOS管溝道縮短到一定程度，就會出現短溝道效應，其主要表現在MOS管溝道中的載流子出現速度飽和現象。
chuck 是在半導體制造和封測過程中使用夾具治具fixtures和各種工裝的統(tǒng)稱，也是個工序;dechuck就是除去卸下排除chuck的動作工序;以上工序在國際上的半導體行業(yè)均為自動化作業(yè);

5，MOS 晶體管的短溝道效應有哪些

短溝道效應是指：當MOS晶體管的溝道長度變短到可以與源漏的耗盡層寬度相比擬時，發(fā)生短溝道效應，柵下耗盡區(qū)電荷不再完全受柵控制，其中有一部分受源、漏控制，產生耗盡區(qū)電荷共享，并且隨著溝道長度的減小，受柵控制的耗盡區(qū)電荷不斷減少的現象。影響：由于受柵控制的耗盡區(qū)電荷不斷減少，只需要較少的柵電荷就可以達到反型，使閾值電壓降低；溝道變短使得器件很容易發(fā)生載流子速度飽和效應。
漏源電壓的增大有兩個影響，一個是使漏源間電流增大，另一個是使導電溝道沿漏源方向逐漸消失。這兩種作用相互抵消，電流既不增大也不減小。當漏源電壓大到一定程度，導電溝到會完全消失，但電流是有的，仍然是剛發(fā)生夾斷時的電流，理由見上述

6，短溝道效應的介紹

短溝道效應：緩變溝道的近似不再成立，這個二維電勢分布會導致閾值電壓隨L的縮短而下降，亞閾值特征的降級以及由于遂穿穿透效應而使電流飽和失效，在溝道出現二維電勢分布以及高電場，這些不同于長溝道MOS場效應晶體管特性的現象，統(tǒng)稱為短溝道效應。
最低0.27元/天開通百度文庫會員，可在文庫查看完整內容>原發(fā)布者:liangyantao21MOSFET的短溝道效應3第8章MOSFET的短溝道效應MOSFET的溝道長度小于3um時發(fā)生的短溝道效應較為明顯。短溝道效應是由以下五種因素引起的，這五種因素又是由于偏離了理想按比例縮小理論而產生的。它們是：（1）由于電源電壓沒能按比例縮小而引起的電場增大；（2）內建電勢既不能按比例縮小又不能忽略；（3）源漏結深不能也不容易按比例減??；（4）襯底摻雜濃度的增加引起載流子遷移率的降低；（5）亞閾值斜率不能按比例縮小。（A）亞閾值特性我們的目的是通過MOSFET的亞閾值特性來推斷閾值電壓到底能縮小到最小極限值。對于長溝道器件而言，亞閾值電流由下式給出也可以寫成如下的形式式中的為單位面積耗盡區(qū)電容。是熱電壓，，在大于幾個熱電壓時有對上式兩邊取對數上式也可以寫成從式（8.4）中可以看出，當時，即當柵－源電壓等于亞閾值電壓時有亞閾值電流：為了使時，器件可以關斷，我們可以令（8.4）中的，則有如果規(guī)定關斷時（當）的電流比在（當）的電流小5個數量級，式(8.7)和式(8.8)的兩邊相除則有得到亞閾值電壓的最小值為如果則亞閾值電壓的最小值是。如果還想將閾值電壓降低到400mV左右，那么就要減小的值，使?？紤]到溫度對閾值電壓的影響，按比例縮小閾值電壓將更加困難。閾值電壓的溫度系數。導致閾值電壓在溫度范圍（0－85℃）內的變化是85mV。制造工藝引起的最小變化也在50mV之間。工藝和溫度引起的變化合計為135mV左右。因此，對增強型的MOS器件其閾值電壓一般都
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