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氣相沉積，化學(xué)氣相沉積法有哪三種主要的生長方式

來源：整理 時間：2023-08-25 00:32:16 編輯：智能門戶 手機版

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1，化學(xué)氣相沉積法有哪三種主要的生長方式

第一種，第二種和第三種
將制備好的催化劑置于氣氛爐中，升溫至約400-900度通入碳源（一般為烴），一般不到1個小時即可有碳管生成。

化學(xué)氣相沉積法有哪三種主要的生長方式

2，解釋一下化學(xué)氣相沉積法制備納米材料

化學(xué)氣相沉積可以分為有基底沉積和無基底沉積。 有基底沉積又分為催化沉積和無催化沉積； 催化沉積往往用于區(qū)域選擇性沉積或特定形貌納米材料的沉積； 無催化沉積常用于制作各種膜材料； 無基底沉積往往利用氣相分解，可以得到各種納米粉體，使用相對較少。

解釋一下化學(xué)氣相沉積法制備納米材料

3，化學(xué)氣相沉積和熱蒸發(fā)法的區(qū)別是什么

前者包括后者....比如說碳納米管合成用的是甲烷,乙炔之類的...催化劑生長...典型的CVD...
這個問題也困擾我好久了！謝謝了！“熱蒸發(fā)法是物理氣相沉積，前體就是ZnO。CVD的前體一般是鋅粉，在氣流中有氧氣反應(yīng)生成ZnO，有時可能還用點催化劑，所以叫做化學(xué)氣相沉積。我理解有這點差別 ”

化學(xué)氣相沉積和熱蒸發(fā)法的區(qū)別是什么

4，有誰能解釋一下晶圓生產(chǎn)中CVD氣相沉積工藝

化學(xué)氣相沉積（CVD）技術(shù)是近年來國際上發(fā)展和應(yīng)用較廣的一門先進技術(shù)，尤其在電子、半導(dǎo)體、機械、儀表、宇航等領(lǐng)域的應(yīng)用發(fā)展極其迅速。所謂化學(xué)氣相沉積（簡稱CVD），就是利用化學(xué)反應(yīng)的原理，從氣相物質(zhì)中析出固相物質(zhì)沉積于工作表面形成鍍層薄膜的新工藝。通常使用的涂層有：TiC、TiN、Ti（C.N）、Gr7O3、Al2O3等。以上幾種CVD的硬質(zhì)涂層基本具備低的滑動摩擦系數(shù)，高的抗磨能力，高的抗接觸疲勞能力，高的表面強度，保證表面具有足夠的尺寸穩(wěn)定性與基體之間有高的粘附強度。

5，化學(xué)氣相沉積的化學(xué)反應(yīng)有哪些特點

1)在中溫或高溫下，通過氣態(tài)的初始化合物之間的氣相化學(xué)反應(yīng)而形成固體物質(zhì)沉積在基體上。2)可以在常壓或者真空條件下(負(fù)壓“進行沉積、通常真空沉積膜層質(zhì)量較好)。3)采用等離子和激光輔助技術(shù)可以顯著地促進化學(xué)反應(yīng)，使沉積可在較低的溫度下進行。4)涂層的化學(xué)成分可以隨氣相組成的改變而變化，從而獲得梯度沉積物或者得到混合鍍層。5)可以控制涂層的密度和涂層純度。6)繞鍍件好?？稍趶?fù)雜形狀的基體上以及顆粒材料上鍍膜。適合涂覆各種復(fù)雜形狀的工件。由于它的繞鍍性能好，所以可涂覆帶有槽、溝、孔，甚至是盲孔的工件。7)沉積層通常具有柱狀晶體結(jié)構(gòu)，不耐彎曲，但可通過各種技術(shù)對化學(xué)反應(yīng)進行氣相擾動，以改善其結(jié)構(gòu)。8)可以通過各種反應(yīng)形成多種金屬、合金、陶瓷和化合物涂層。
把一種或幾種含有構(gòu)成薄膜元素的化合物、單質(zhì)氣體通入放置有基片的反應(yīng)室，借助氣相作用或在基片上的化學(xué)反應(yīng)生成所希望的薄膜。缺點：沉積時基片溫度高，沉積速率較低。

6，化學(xué)氣相沉積的介紹

化學(xué)氣相沉積是一種制備材料的氣相生長方法，它是把一種或幾種含有構(gòu)成薄膜元素的化合物、單質(zhì)氣體通入放置有基材的反應(yīng)室，借助空間氣相化學(xué)反應(yīng)在基體表面上沉積固態(tài)薄膜的工藝技術(shù)。
現(xiàn)代科學(xué)和技術(shù)需要使用大量功能各異的無機新材料，這些功能材料必須是高純的，或者是在高純材料中有意地?fù)饺肽撤N雜質(zhì)形成的摻雜材料。但是，我們過去所熟悉的許多制備方法如高溫熔煉、水溶液中沉淀和結(jié)晶等往往難以滿足這些要求，也難以保證得到高純度的產(chǎn)品。因此，無機新材料的合成就成為現(xiàn)代材料科學(xué)中的主要課題?；瘜W(xué)氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術(shù)?；瘜W(xué)氣相淀積法已經(jīng)廣泛用于提純物質(zhì)、研制新晶體、淀積各種單晶、多晶或玻璃態(tài)無機薄膜材料。這些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是iii-v、ii-iv、iv-vi族中的二元或多元的元素間化合物，而且它們的物理功能可以通過氣相摻雜的淀積過程精確控制。目前，化學(xué)氣相淀積已成為無機合成化學(xué)的一個新領(lǐng)域。
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