强奸久久久久久久|草草浮力在线影院|手机成人无码av|亚洲精品狼友视频|国产国模精品一区|久久成人中文字幕|超碰在线视屏免费|玖玖欧洲一区二区|欧美精品无码一区|日韩无遮一区二区

首頁 > 資訊 > 經(jīng)驗 > 磁控濺射原理，磁控濺射制備石墨烯是化學方法嗎

磁控濺射原理，磁控濺射制備石墨烯是化學方法嗎

來源：整理 時間：2023-08-19 07:28:05 編輯：智能門戶 手機版

本文目錄一覽

1，磁控濺射制備石墨烯是化學方法嗎

是利用氬原子電離后的氬離子轟擊石墨靶材表面濺射成膜的物理方法。但是生成條件很苛刻，一般直接濺射生成類金剛石結(jié)構(gòu)，不會生成石墨烯。
也許是的。
低真空下，氬原子在電場作用下被電離，產(chǎn)生的正電荷氬離子轟擊作為陰極的靶材，將靶材表面的原子打擊下來，這就是濺射。磁控是在陰極靶材周圍布局的一圈永磁磁鋼來實現(xiàn)的，目的就是利用洛倫茲力原理讓被電離的氬離子盡多的打擊在靶上，同時氬離子速度也能被加速，動能增大，濺射速度加快。

磁控濺射制備石墨烯是化學方法嗎

2，磁控濺射的原理

電子在電場的作用下加速飛向基片的過程中與氬原子發(fā)生碰撞，電離出大量的氬離子和電子。電子飛向基片，氬離子在電場的作用下加速轟擊靶材，濺射出大量的靶材原子，呈中性的靶原子（或分子）沉積在基片上成膜。二次電子在加速飛向基片的過程中受磁場洛侖磁力的影響，被束縛在靠近靶面的等離子體區(qū)域內(nèi)，該區(qū)域內(nèi)等離子體密度很高，二次電子在磁場的作用下圍繞靶面做圓周運動，該電子的運動路徑很長，在運動過程中不斷撞擊電離出大量的氬離子轟擊靶材，經(jīng)過多次的碰撞后電子的能量逐漸降低，拜托磁力線的束縛，遠離靶材，最終沉積在基片上。

磁控濺射的原理

3，什么是射頻磁控濺射法

一種電真空鍍膜法。
1 直流和射頻是對加在靶上的電源所說的。本質(zhì)區(qū)別自然就在直流是持續(xù)不間斷加在上面，射頻是具有一定的頻率（13.56MHz）間隔加在靶上的。詳細解釋只能去看書，還不讓粘貼，沒人會找本書來給你慢慢敲在這里2 這個說法不對。直流磁控濺射只能用導電的靶材（靶材表面在空氣中或者濺射過程中不會形成絕緣層的靶材），并不局限于金屬。譬如，對于鋁靶，它的表面極易形成不導電的氧化膜層，造成靶表面電荷積累（靶中毒），嚴重時直流濺射無法進行。這時候，就需要射頻電源，簡單的說，用射頻電源的時候，有一小部分時間是在沖抵靶上積累的電荷，不會發(fā)生靶中毒。去找本書，《薄膜科學與技術(shù)》，里面解釋的還行?；蛘甙雽w設備的書里面也會有涉及

什么是射頻磁控濺射法

4，什么叫中頻磁控濺射

經(jīng)公司技術(shù)人員多年專注研發(fā)，通過特有的陰極電弧離子和非平衡磁控系統(tǒng)，并開發(fā)出整套propower系列計算機自動控制系統(tǒng)，使鍍膜膜層附著力致密度、從復度一致性好等特點，解決了人工手動操作復雜性、膜層顏色不一致等問題。廣泛適用于手表、手機殼、五金、潔具、餐具及要求耐磨起硬的刀具、模具等。鍍制tin、ticn、crn、tialn、ticrn、zrn、tinc及各類金屬石膜（dlc）。臥式鍍膜機　　1、磁控濺射的原理是基于陰極輝光放電理論，把陰極表面磁場擴展到接近工件表面，提高了濺射原子離化率。既保留磁控濺射的細膩又增強了表面光澤度。真空離子清洗機　　2、電弧等離子體蒸發(fā)源性能可靠，在優(yōu)化陰極及磁場結(jié)構(gòu)鍍膜時可在30a電流下工作，鍍膜膜層和基底界面產(chǎn)生原子擴散，又具有離子束輔助沉積的特點。汽車鍍膜設備

5，磁控濺射中的二次電子

磁控濺射中撞擊Ar原子的是被電場加速的電子，公認的是碰撞理論，入射離子與固體表面原子發(fā)生彈性碰撞后，將其中一部分能量給了原子，該原子的動能超過它與其他原子形成的勢壘（對金屬約5--10ev)時，原子就會從晶格點陣碰出，形成離位原子，又與其他附近原子發(fā)生反復碰撞--聯(lián)級碰撞。當原子動能超過結(jié)合能（1--6ev)時，原子離開表面進入真空室沉積在設置的基體上，形成薄膜。 入射正離子轟擊固體表面后除產(chǎn)生原子外，還有其他現(xiàn)象產(chǎn)生，主要是原子和電子。原子沉積在基體上形成薄膜，電子用來維持輝光放電的繼續(xù)。二次電子主要是氬原子被撞擊后產(chǎn)生的，Ar+離子最后撞擊靶材（靶材是陰極帶負電），失去能量，得到電子，還原為氬原子，所以在濺射純金屬時，氬流量確定以后，無論提高還是降低濺射功率，真空度基本不變，而在反應濺射時，反應氣體過量時，提高濺射功率可以減輕真空度降低。 如此回答可否滿意，如有疑問，繼續(xù)探討?？烧?019180351@qq.com

6，濺射靶材的主要應用

濺射靶材主要應用于電子及信息產(chǎn)業(yè)，如集成電路、信息存儲、液晶顯示屏、激光存儲器、電子控制器件等；亦可應用于玻璃鍍膜領(lǐng)域；還可以應用于耐磨材料、高溫耐蝕、高檔裝飾用品等行業(yè)。分類 根據(jù)形狀可分為長靶，方靶，圓靶，異型靶 根據(jù)成份可分為金屬靶材、合金靶材、陶瓷化合物靶材 根據(jù)應用不同又分為半導體關(guān)聯(lián)陶瓷靶材、記錄介質(zhì)陶瓷靶材、顯示陶瓷靶材、超導陶瓷靶材和巨磁電阻陶瓷靶材等 根據(jù)應用領(lǐng)域分為微電子靶材、磁記錄靶材、光碟靶材、貴金屬靶材、薄膜電阻靶材、導電膜靶材、表面改性靶材、光罩層靶材、裝飾層靶材、電極靶材、封裝靶材、其他靶材 磁控濺射原理：在被濺射的靶極(陰極)與陽極之間加一個正交磁場和電場，在高真空室中充入所需要的惰性氣體(通常為Ar氣)，永久磁鐵在靶材料表面形成250～350高斯的磁場，同高壓電場組成正交電磁場。在電場的作用下，Ar氣電離成正離子和電子，靶上加有一定的負高壓，從靶極發(fā)出的電子受磁場的作用與工作氣體的電離幾率增大，在陰極附近形成高密度的等離子體，Ar離子在洛侖茲力的作用下加速飛向靶面，以很高的速度轟擊靶面，使靶上被濺射出來的原子遵循動量轉(zhuǎn)換原理以較高的動能脫離靶面飛向基片淀積成膜。 磁控濺射一般分為二種：支流濺射和射頻濺射，其中支流濺射設備原理簡單，在濺射金屬時，其速率也快。而射頻濺射的使用范圍更為廣泛，除可濺射導電材料外，也可濺射非導電的材料，同時還司進行反應濺射制備氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料。若射頻的頻率提高后就成為微波等離子體濺射，常用的有電子回旋共振(ECR)型微波等離子體濺射。磁控濺射鍍膜靶材：金屬濺射鍍膜靶材，合金濺射鍍膜靶材，陶瓷濺射鍍膜靶材，硼化物陶瓷濺射靶材，碳化物陶瓷濺射靶材，氟化物陶瓷濺射靶材 ，氮化物陶瓷濺射靶材 ，氧化物陶瓷靶材，硒化物陶瓷濺射靶材 ，硅化物陶瓷濺射靶材 ，硫化物陶瓷濺射靶材 ，碲化物陶瓷濺射靶材 ，其他陶瓷靶材，摻鉻一氧化硅陶瓷靶材(Cr-SiO)，磷化銦靶材(InP)，砷化鉛靶材(PbAs)，砷化銦靶材(InAs)。高純高密度濺射靶材有：濺射靶材（純度：99.9%-99.999%）1. 金屬靶材：鎳靶、Ni、鈦靶、Ti、鋅靶、Zn、鉻靶、Cr、鎂靶、Mg、鈮靶、Nb、錫靶、Sn、鋁靶、Al、銦靶、In、鐵靶、Fe、鋯鋁靶、ZrAl、鈦鋁靶、TiAl、鋯靶、Zr、鋁硅靶、AlSi、硅靶、Si、銅靶Cu、鉭靶T、a、鍺靶、Ge、銀靶、Ag、鈷靶、Co、金靶、Au、釓靶、Gd、鑭靶、La、釔靶、Y、鈰靶、Ce、鎢靶、w、不銹鋼靶、鎳鉻靶、NiCr、鉿靶、Hf、鉬靶、Mo、鐵鎳靶、FeNi、鎢靶、W等金屬濺射靶材。2. 陶瓷靶材ITO靶、AZO靶、氧化鎂靶、氧化鐵靶、氮化硅靶、碳化硅靶、氮化鈦靶、氧化鉻靶、氧化鋅靶、硫化鋅靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化鈰靶、二氧化鋯靶、五氧化二鈮靶、二氧化鈦靶、二氧化鋯靶，、二氧化鉿靶，二硼化鈦靶，二硼化鋯靶，三氧化鎢靶，三氧化二鋁靶五氧化二鉭，五氧化二鈮靶、氟化鎂靶、氟化釔靶、硒化鋅靶、氮化鋁靶，氮化硅靶，氮化硼靶，氮化鈦靶，碳化硅靶，鈮酸鋰靶、鈦酸鐠靶、鈦酸鋇靶、鈦酸鑭靶、氧化鎳靶等陶瓷濺射靶材。3.合金靶材鎳鉻合金靶、鎳釩合金靶、鋁硅合金靶、鎳銅合金靶、鈦鋁合金、鎳釩合金靶、硼鐵合金靶、硅鐵合金靶等高純度合金濺射靶材。
文章TAG：磁控濺射原理磁控濺射制備石墨烯是化學方法嗎

最近更新

  • 中國自主研發(fā)，中國科技最新發(fā)明是什么中國自主研發(fā)，中國科技最新發(fā)明是什么

    中國科技最新發(fā)明是什么2，我國自主研發(fā)的芯片有哪些3，我國自主發(fā)明著名的科技有哪些4，我國自1956年以來自主研發(fā)了哪些類型的火箭5，中國核武器是自主研發(fā)的嗎6，中國高鐵技術(shù)是自主研發(fā)嗎7，中.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • 接觸器型號規(guī)格，cj20交流接觸器型號規(guī)格有哪些接觸器型號規(guī)格，cj20交流接觸器型號規(guī)格有哪些

    cj20交流接觸器型號規(guī)格有哪些2，接觸器型號3，接觸器型號cjx21810含義4，交流接觸器的規(guī)格型號5，交流接觸器規(guī)格6，常用接觸器型號有哪些1，cj20交流接觸器型號規(guī)格有哪些cj20交流接觸器型號規(guī)格.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • 芯片產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)最發(fā)達的地方是哪里芯片產(chǎn)業(yè)，國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)最發(fā)達的地方是哪里

    國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)最發(fā)達的地方是哪里2，芯片屬于什么行業(yè)3，芯片行業(yè)是輕工業(yè)嗎4，中國芯片行業(yè)有什么特點5，集成電路產(chǎn)業(yè)有哪些適合小微企業(yè)6，中國芯片現(xiàn)狀怎么樣1，國內(nèi)芯片產(chǎn)業(yè)最發(fā)達的地方是哪里.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • 旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，求有關(guān)旋轉(zhuǎn)的知識旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)，求有關(guān)旋轉(zhuǎn)的知識

    求有關(guān)旋轉(zhuǎn)的知識2，旋轉(zhuǎn)體相關(guān)概念軸形成旋轉(zhuǎn)體所繞的3，如圖的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)怎么算氣缸需要多大的力才能驅(qū)動4，高空旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)施工有哪些難題5，誰能幫我解釋一下空間結(jié)構(gòu)旋轉(zhuǎn)安裝是怎么回事啊6，想.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • OCL，ocl是什么離子OCL，ocl是什么離子

    ocl是什么離子2，ocl功放電路的優(yōu)越性及其原理3，功放機的OCL電路是什么電路它是如何工作的各元器件在電路起到4，什么是OCL電路5，無輸出電容的功率放大器OCL的工作原理6，什么是OCL電路OCL電路.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • plc流程圖，PLC流程圖代表什么意思就是方框菱形那些plc流程圖，PLC流程圖代表什么意思就是方框菱形那些

    PLC流程圖代表什么意思就是方框菱形那些2，PLC程序控制流程圖是和否是什么意思3，在三菱plc編程軟件上怎樣畫狀態(tài)流程圖它和梯形圖能互相轉(zhuǎn)換嗎4，PLC車輛出入庫管理流程圖怎么做5，PLC程序圖6.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • 蘋果數(shù)據(jù)線破了充電會串聯(lián)嗎,蘋果14用老的數(shù)據(jù)線充電用嗎蘋果數(shù)據(jù)線破了充電會串聯(lián)嗎,蘋果14用老的數(shù)據(jù)線充電用嗎

    這個蘋果充電數(shù)據(jù)線破會漏電嗎？蘋果數(shù)據(jù)線皮破了有危險嗎？蘋果6數(shù)據(jù)線裂了，數(shù)據(jù)線鞘斷了有關(guān)系嗎？充電電線外皮破損，電線外露很危險。蘋果數(shù)據(jù)電纜的護套破裂不需要任何處理，也不會影響數(shù)據(jù).....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19

  • 電機碳刷，電機里的碳刷有什么做用電機碳刷，電機里的碳刷有什么做用

    電機里的碳刷有什么做用2，電機的碳刷3，電機里的碳刷有什么用4，電機里的碳刷有什么用5，電動機中的碳刷有什么作用6，電動機的碳刷有什么用1，電機里的碳刷有什么做用360度接觸給轉(zhuǎn)子通電2，電機的.....

    【經(jīng)驗】 日期：2023-08-19