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壓阻壓力傳感器,壓阻式壓力傳感器的介紹

來源:整理 時(shí)間:2023-08-27 00:27:28 編輯:智能門戶 手機(jī)版

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1,壓阻式壓力傳感器的介紹

壓阻式傳感器是壓力式傳感器的一種。壓阻式壓力傳感器又稱擴(kuò)散硅壓力傳感器。

壓阻式壓力傳感器的介紹

2,壓阻式壓力變送器原理

壓阻傳感器,即利用半導(dǎo)體的壓阻效應(yīng),在半導(dǎo)體(典型材質(zhì)為硅)受到壓力時(shí),其阻值會依據(jù)壓力大小有接近線性的變化。在現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中,壓阻壓力變送器分為干和濕兩種情況,濕的即是充硅油的擴(kuò)散硅壓力變送器/傳感器。
阻溫度飄移可以得到很好的補(bǔ)償,橋路輸出的電壓靈敏度是單臂橋的四倍,在使幾伏的電源電壓時(shí),而且線性度好,橋路輸出信號可以到達(dá)幾百毫伏

壓阻式壓力變送器原理

3,壓阻式固態(tài)壓力傳感器應(yīng)用在那方面

這兩個(gè)概念你得搞清楚,壓阻傳感器指的是壓力傳感器中用的一種工作原理,壓阻式的。壓力傳感器是一種感測壓力的傳感器,且絕大部分都是用壓阻式的。 但是利用壓阻式的傳感器還有壓差傳感器、拉力傳感器等。
熱軋機(jī)和冷軋機(jī)的壓力檢測:gh-hi實(shí)體壓磁式測壓儀檢測壓力,并能給pie系統(tǒng)提供咬入、拋料、超差、防斷輥過載報(bào)警等功能,改造后運(yùn)行良好。壓磁式傳感器(也稱磁彈性傳感器)是最近國內(nèi)外應(yīng)用的一種新型傳感器,它的作用原理是以磁彈性效應(yīng)為基礎(chǔ),即利用傳感器將作用力變換成傳感器導(dǎo)磁率變化,并通過導(dǎo)磁率的變化輸出相應(yīng)變化的電信號。其技術(shù)指標(biāo):過載200%不破壞,一iooc一120ac(高溫型),最大壓力8.0 mn。壓磁式傳感器具有以下優(yōu)點(diǎn):(1)結(jié)構(gòu)簡單,實(shí)體牢固可靠,密封良好,耐高溫,適應(yīng)惡劣環(huán)境;(2)輸出功率大,信號強(qiáng);(3)過載能力強(qiáng),抗干擾性能好,壽命長;(4)該傳感器便予制造,工藝簿單,成本低,維護(hù)也比較方便; ,(5)壓磁式壓力傳感器適于靜態(tài)、動(dòng)態(tài)力測量;(6)與冱瞧式簧感器等類類型傳感器穗斃較,該傳感器信號放大電路簡單,無需電荷放大器,不需特殊的同軸電纜,使用一般導(dǎo)線即可;(7)與電阻建變式傳惑器櫻毖,不需粘貼,安裝方法籬單。正因?yàn)樗^壓電式傳感器、電阻應(yīng)變式傳感器有著以上的諸多優(yōu)勢,所以對研究有著非常重要的理論意義稻很高懿實(shí)用價(jià)蒗。

壓阻式固態(tài)壓力傳感器應(yīng)用在那方面

4,壓阻式傳感器的應(yīng)用

壓阻式傳感器廣泛地應(yīng)用于航天、航空、航海、石油化工、動(dòng)力機(jī)械、生物醫(yī)學(xué)工程、氣象、地質(zhì)、地震測量等各個(gè)領(lǐng)域。在航天和航空工業(yè)中壓力是一個(gè)關(guān)鍵參數(shù),對靜態(tài)和動(dòng)態(tài)壓力,局部壓力和整個(gè)壓力場的測量都要求很高的精度。壓阻式傳感器是用于這方面的較理想的傳感器。例如,用于測量直升飛機(jī)機(jī)翼的氣流壓力分布,測試發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣口的動(dòng)態(tài)畸變、葉柵的脈動(dòng)壓力和機(jī)翼的抖動(dòng)等。在飛機(jī)噴氣發(fā)動(dòng)機(jī)中心壓力的測量中,使用專門設(shè)計(jì)的硅壓力傳感器,其工作溫度達(dá)500℃以上。在波音客機(jī)的大氣數(shù)據(jù)測量系統(tǒng)中采用了精度高達(dá)0.05%的配套硅壓力傳感器。在尺寸縮小的風(fēng)洞模型試驗(yàn)中,壓阻式傳感器能密集安裝在風(fēng)洞進(jìn)口處和發(fā)動(dòng)機(jī)進(jìn)氣管道模型中。單個(gè)傳感器直徑僅2.36毫米,固有頻率高達(dá)300千赫,非線性和滯后均為全量程的±0.22%。在生物醫(yī)學(xué)方面,壓阻式傳感器也是理想的檢測工具。已制成擴(kuò)散硅膜薄到10微米,外徑僅0.5毫米的注射針型壓阻式壓力傳感器和能測量心血管、顱內(nèi)、尿道、子宮和眼球內(nèi)壓力的傳感器。圖3是一種用于測量腦壓的傳感器的結(jié)構(gòu)圖。壓阻式傳感器還有效地應(yīng)用于爆炸壓力和沖擊波的測量、真空測量、監(jiān)測和控制汽車發(fā)動(dòng)機(jī)的性能以及諸如測量槍炮膛內(nèi)壓力、發(fā)射沖擊波等兵器方面的測量。此外,在油井壓力測量、隨鉆測向和測位地下密封電纜故障點(diǎn)的檢測以及流量和液位測量等方面都廣泛應(yīng)用壓阻式傳感器。隨著微電子技術(shù)和計(jì)算機(jī)的進(jìn)一步發(fā)展,壓阻式傳感器的應(yīng)用還將迅速發(fā)展。

5,壓阻式壓力傳感器的原理

工作原理壓阻式傳感器是根據(jù)半導(dǎo)體材料的壓阻效應(yīng)在半導(dǎo)體材料的基片上經(jīng)擴(kuò)散電阻而制成的器件。其基片可直接作為測量傳感元件,擴(kuò)散電阻在基片內(nèi)接成電橋形式。當(dāng)基片受到外力作用而產(chǎn)生形變時(shí),各電阻值將發(fā)生變化,電橋就會產(chǎn)生相應(yīng)的不平衡輸出。 用作壓阻式傳感器的基片(或稱膜片)材料主要為硅片和鍺片,硅片為敏感 材料而制成的硅壓阻傳感器越來越受到人們的重視,尤其是以測量壓力和速度的固態(tài)壓阻式傳感器應(yīng)用最為普遍。
結(jié)構(gòu)如圖所示。其核心部分是一塊沿某晶向(如〈1 0〉)切割的N型的圓形硅膜片(見圖2-35(b))。在膜片上利用集成電路工藝方法擴(kuò)散上四個(gè)阻值相等的P型電阻。用導(dǎo)線將其構(gòu)成平衡電橋。膜片的四周用圓硅環(huán)(硅杯)固定,其下部是與被測系統(tǒng)相連的高壓腔,上部一般可與大氣相通。在被測壓力P作用下,膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變。膜片上各點(diǎn)的應(yīng)力分布由式(2-20)和式(2-21)給出。當(dāng)時(shí),徑向應(yīng)力為零值。四個(gè)電阻沿〈1 1 0〉晶向并分別在x=0.635r處的內(nèi)外排列,在0.635r之內(nèi)側(cè)的電阻承受的為正值,即拉應(yīng)力(見圖2-25(b)),外側(cè)的電阻承受的是負(fù)值,即壓應(yīng)力。由于〈1 1 0〉晶向的橫向?yàn)椤? 0 1〉,因此,,代入式(2-29)內(nèi)外電阻的相對變化為式中 、——內(nèi)、外電阻上所承受徑向應(yīng)力的平均值。設(shè)計(jì)時(shí),要正確地選擇電阻的徑向位置,使,因而使。使四個(gè)電阻接入差動(dòng)電橋,初始狀態(tài)平衡,受力P后,差動(dòng)電橋輸出與P相對應(yīng)。為了保證較好的測量線性度,要控制膜片邊緣處徑向應(yīng)變。而膜片厚度為h≥式中 ——;膜片邊緣允許的最大徑向應(yīng)變?!鹤枋綁毫鞲衅饔捎趶椥栽c變換元件一體化,尺寸小,其固有頻率很高,可以測頻率范圍很寬的脈動(dòng)壓力。固有頻率可按下式計(jì)算式中 ——硅片的密度(kg/m2) 壓阻式壓力傳感器廣泛用于流體壓力、差壓、液位等的測量。特別是它的體積小,最小的傳感器可為0.8mm,在生物醫(yī)學(xué)上可以測量血管內(nèi)壓、顱內(nèi)壓等參數(shù)。

6,壓電式壓力傳感器和壓阻式壓力傳感器的區(qū)別

1、工作原理不同壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅的壓阻效應(yīng)而構(gòu)成。壓電式壓力傳感器大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。2、側(cè)重點(diǎn)不同壓電式壓力傳感器當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號相反的電荷;當(dāng)外力撤去后,晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時(shí),電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。壓阻式壓力傳感器采用單晶硅片為彈性元件,在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝,在單晶硅的特定方向擴(kuò)散一組等值電阻,并將電阻接成橋路,單晶硅片置于傳感器腔內(nèi)。當(dāng)壓力發(fā)生變化時(shí),單晶硅產(chǎn)生應(yīng)變,使直接擴(kuò)散在上面的應(yīng)變電阻產(chǎn)生與被測壓力成正比的變化,再由橋式電路獲相應(yīng)的電壓輸出信號。3、構(gòu)造不同壓電式壓力傳感器基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。它的種類和型號繁多,按彈性敏感元件和受力機(jī)構(gòu)的形式可分為膜片式和活塞式兩類。膜片式主要由本體、膜片和壓電元件組成。壓阻式傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),引出電極引線。參考資料來源:搜狗百科-壓阻式壓力傳感器參考資料來源:搜狗百科-壓電式壓力傳感器
壓電式壓力傳感器:基于壓電效應(yīng)的壓力傳感器。大多是利用正壓電效應(yīng)制成的。正壓電效應(yīng)是指:當(dāng)晶體受到某固定方向外力的作用時(shí),內(nèi)部就產(chǎn)生電極化現(xiàn)象,同時(shí)在某兩個(gè)表面上產(chǎn)生符號相反的電荷;當(dāng)外力撤去后,晶體又恢復(fù)到不帶電的狀態(tài);當(dāng)外力作用方向改變時(shí),電荷的極性也隨之改變;晶體受力所產(chǎn)生的電荷量與外力的大小成正比。逆壓電效應(yīng)又稱電致伸縮效應(yīng),是指對晶體施加交變電場引起晶體機(jī)械變形的現(xiàn)象。用于電聲和超聲工程的一般使用逆壓電效應(yīng)制造的變送器。壓阻式壓力傳感器:壓阻式壓力傳感器其核心部分是一塊沿某晶向切割的N型的圓形硅膜片。在膜片上利用集成電路工藝方法擴(kuò)散上四個(gè)阻值相等的P型電阻。用導(dǎo)線將其構(gòu)成平衡電橋。膜片的四周用圓硅環(huán)(硅杯)固定,其下部是與被測系統(tǒng)相連的高壓腔,上部一般可與大氣相通。在被測壓力P作用下,膜片產(chǎn)生應(yīng)力和應(yīng)變。當(dāng)時(shí),徑向應(yīng)力為零值。壓電式壓力傳感器和壓阻式壓力傳感器的區(qū)別:從原理上講,應(yīng)變式壓力傳感器,是外界的壓力(或拉力)引起應(yīng)變材料的幾何形狀(長度或?qū)挾龋┌l(fā)生改變,進(jìn)而導(dǎo)致材料的電阻發(fā)生變化.檢測這個(gè)電阻變化量可以測得外力的大小.壓阻式壓力傳感器通常是半導(dǎo)體壓敏材料.半導(dǎo)體壓阻式傳感器在受到外力后,自身的幾何形狀幾乎沒有什么改變,而是其晶格參數(shù)發(fā)生改變,影響到禁帶寬度.禁帶寬度哪怕是非常微小的改變,都會引起載流子密度很大的改變,這最終引起材料的電阻率發(fā)生改變.可見兩種材料雖然都對外力變化呈現(xiàn)出電阻的變化,但原理不同.另外,應(yīng)變式材料對外力的敏感度遠(yuǎn)遠(yuǎn)低于半導(dǎo)體壓阻材料,后者的靈敏度是前者的約100倍;應(yīng)變材料特性受溫度影響較小,而半導(dǎo)體壓阻材料對溫度敏感.
壓電式壓力傳感器是以某些晶體受力后在其表面產(chǎn)生電荷的壓電效應(yīng)為轉(zhuǎn)換原理的傳感器.壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)制成.單晶硅材料受到力的作用后,其電阻就要發(fā)生變化,壓阻效應(yīng).現(xiàn)在市場上用的壓阻式傳感器都是應(yīng)變片式的傳感器.價(jià)格便宜,品種多.
一個(gè)是檢測電阻的負(fù)值,一個(gè)是檢測電壓的正值
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