MEMS是微電子電路技術(shù)與微機(jī)械系統(tǒng)相結(jié)合的工業(yè)技術(shù)。其工作范圍在微米級(jí)，生產(chǎn)分為前端工藝和后端封裝工藝。其中，前端工藝主要包括晶圓清洗、光刻、刻蝕等步驟；后端封裝工藝主要包括測試和封裝，每一步都有不同的設(shè)備，但需要先進(jìn)和精密。就硅控壓力傳感器的封裝而言，內(nèi)應(yīng)力(膠粘劑的固化、溫度等。)在安裝過程中應(yīng)盡量避免，貼合前后壓力傳感膜的初始變形應(yīng)盡量減小，以避免傳感器輸出信號(hào)的零偏差。目前這家卓星半導(dǎo)體做的不錯(cuò)，他們的AS8100系列是專門針對(duì)MEMS封裝設(shè)計(jì)的，實(shí)現(xiàn)高精度的貼裝技術(shù)。此外，卓星半導(dǎo)體還可以為定制半導(dǎo)體封裝提供專業(yè)的整體解決方案。

Automation是一家專業(yè)從事智能自動(dòng)控制、數(shù)字化、網(wǎng)絡(luò)化控制器和傳感器的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高科技公司。其眾多的功能模塊和完善的嵌入式解決方案，可以最大程度地滿足眾多用戶的個(gè)性化需求。本公司的產(chǎn)品有多種產(chǎn)品可以滿足客戶的需求。自動(dòng)化設(shè)備由振動(dòng)圓盤組成。自動(dòng)化系統(tǒng)中的大型成套設(shè)備，也稱為自動(dòng)化裝置。它是指機(jī)器或設(shè)備按照規(guī)定的程序或指令自動(dòng)運(yùn)行或控制而無需干預(yù)的過程。

電源，包括各設(shè)備的電源和車間的電源，即設(shè)備能涉及到的所有電源。氣源，包括氣動(dòng)裝置所需的氣壓源。液壓源，包括液壓裝置所需液壓泵的工作狀態(tài)。在50%的故障診斷問題中，基本上所有的錯(cuò)誤都是由電源、氣源和液壓源引起的。比如供電有問題，包括整個(gè)車間的供電都出現(xiàn)故障，比如電源低，保險(xiǎn)燒了，電源插頭接觸不良等。氣泵或液壓泵沒有打開，氣動(dòng)三缸或雙缸沒有打開，液壓系統(tǒng)中的安全閥或一些壓力閥沒有打開。

包括plc編程控制系統(tǒng)、工業(yè)電氣設(shè)備如接觸器、傳感器、繼電器、編碼器、開關(guān)、斷路器、人機(jī)界面和按鈕、伺服控制柜、傳動(dòng)設(shè)備、供電系統(tǒng)、調(diào)速器、電機(jī)和運(yùn)動(dòng)控制。儀表和測量設(shè)備:包括溫度儀表、閥門、液位儀表、壓力儀表和流量儀表。自動(dòng)化設(shè)備包括plc編程控制系統(tǒng)、接觸器、傳感器、繼電器、編碼器、開關(guān)、斷路器、人機(jī)界面、按鈕等工業(yè)電氣設(shè)備。

儀表和測量設(shè)備:包括溫度儀表、閥門、液位儀表、壓力儀表、流量儀表等。工業(yè)自動(dòng)化是指以控制各種過程為目的，對(duì)工業(yè)生產(chǎn)中的各種參數(shù)進(jìn)行控制。在整個(gè)工業(yè)生產(chǎn)中，盡可能減少人力的操作，充分利用能源和動(dòng)物以外的各種信息來進(jìn)行生產(chǎn)工作，稱為工業(yè)自動(dòng)化生產(chǎn)，使工業(yè)能夠進(jìn)行自動(dòng)化生產(chǎn)的過程稱為工業(yè)自動(dòng)化。

自動(dòng)化設(shè)備主要包括流水線設(shè)備和自動(dòng)化專機(jī):1。流水線設(shè)備:滾筒流水線、皮帶流水線、鏈板流水線、烘干流水線、差速鏈流水線、插件流水線等；2.自動(dòng)專機(jī):烘干箱、工業(yè)烤箱、鉆床、鉚接機(jī)、升降機(jī)、插秧機(jī)、縮口機(jī)等。我國工業(yè)自動(dòng)化裝備發(fā)展取得了巨大成就，但機(jī)械產(chǎn)品仍存在附加值低、競爭力弱等嚴(yán)重問題，高端機(jī)械產(chǎn)品仍嚴(yán)重依賴進(jìn)口。

自動(dòng)化設(shè)備種類繁多。任何用機(jī)器的動(dòng)作代替人的動(dòng)作來完成產(chǎn)品的加工、裝配和測試的設(shè)備都屬于自動(dòng)化設(shè)備。比如自動(dòng)包裝機(jī)械、自動(dòng)貼標(biāo)機(jī)、自動(dòng)穿線機(jī)、自動(dòng)繞線機(jī)等等。自動(dòng)化的對(duì)象已經(jīng)成為一個(gè)大型復(fù)雜的工程和非工程系統(tǒng)，涉及到許多用現(xiàn)代控制理論難以解決的問題。對(duì)這些問題的研究。鉚接自動(dòng)化設(shè)備廣泛應(yīng)用于汽車行業(yè)。比如汽車氣缸蓋數(shù)控鉚接機(jī)、汽車離合器自動(dòng)鉚接機(jī)、汽車門鎖鉚接機(jī)等。

因此，在很多汽車零部件生產(chǎn)廠家，已經(jīng)使用數(shù)控鉚接機(jī)進(jìn)行生產(chǎn)。數(shù)控鉚接機(jī)的優(yōu)點(diǎn)是:高精度鉚接控制XYZ三軸伺服精確定位，該鉚接機(jī)XYZ軸的運(yùn)動(dòng)精度為0.05 mm，鉚接精度為0.05 mm，該設(shè)備的控制方式分為手動(dòng)控制和自動(dòng)控制，手動(dòng)控制是單個(gè)動(dòng)作，主要用于調(diào)試機(jī)構(gòu)和模具。手動(dòng)調(diào)試后，生產(chǎn)時(shí)會(huì)調(diào)整為自動(dòng)，自動(dòng)控制系統(tǒng)采用可編程控制器(PLC)和觸摸屏人機(jī)界面控制，操作簡單，性能可靠，體積小巧，提高了生產(chǎn)效率和質(zhì)量。